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Method for manufacturing thermal-type infrared sensor

外国特許コード F070001727
整理番号 F070001727
掲載日 2007年11月16日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 96021697
公報番号 5966590
出願日 平成9年10月29日(1997.10.29)
公報発行日 平成11年10月12日(1999.10.12)
優先権データ
  • 特願1996-286681 (1996.10.29) JP
発明の名称 (英語) Method for manufacturing thermal-type infrared sensor
発明の概要(英語) In a method of manufacturing a thermal-type infrared sensor including a thermosensitive part, a bolometer material is formed as the thermosensitive part and is subjected to post-processing to control a temperature coefficient of resistance in the bolometer material. The bolometer material may be formed by titanium or vanadium.
  • 発明者/出願人(英語)
  • Wada; Hideo
  • Nagashima; Mitsuhiro
  • Sasaki; Tokuhito
  • Oda; Naoki
  • Director General, Technical Research and Development Institute, Japan Defense Agency
  • NEC Corporation
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 438/054
  • 438/104
  • 338/015
  • 338/018

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