TOP > 外国特許検索 > SCANNING ATOM PROBE AND ANALYSIS METHOD USING SCANNING ATOM PROBE

SCANNING ATOM PROBE AND ANALYSIS METHOD USING SCANNING ATOM PROBE

外国特許コード F070001782
整理番号 F070001782
掲載日 2008年1月18日
出願国 世界知的所有権機関(WIPO)
国際出願番号 2002JP002802
国際公開番号 WO 2002/093615
国際出願日 平成14年3月22日(2002.3.22)
国際公開日 平成14年11月21日(2002.11.21)
優先権データ
  • 60/278423 (2001.3.26) US
発明の名称 (英語) SCANNING ATOM PROBE AND ANALYSIS METHOD USING SCANNING ATOM PROBE
発明の概要(英語) In a scan atom probe (100), firstly, a surface shape analysis block (20) analyzes a surface shape of a sample (3). Next, an extraction electrode (5) is positioned on a desired analysis region of the sample surface. When analyzing an electron state in the analysis region, minus bias voltage is applied from a DC high voltage power source (2) to the sample (3) and field-emitted electrons are detected by a screen (9). When analyzing an atom arrangement and composition in the analysis region, the sample (3) is subjected to positive voltage from the DC high voltage power source (2) and a pulse generator (1) and cations generated by field evaporation are detected by a position detection type ion detector (11) or a reflectron type mass analyzer (13).
  • 出願人(英語)
  • ※2012年7月以前掲載分については米国以外のすべての指定国
  • Kanazawa Institute Of Technology
  • 発明者(英語)
  • Nishikawa, Osamu
国際特許分類(IPC)
指定国 AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT JP KR LU MC NL PT SE TR US
ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、「問合せ先」まで直接お問合せ下さい。

PAGE TOP

close
close
close
close
close
close