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IN-PLANE EXPOSURE DEVICE AND IN-PLANE EXPOSURE METHOD

外国特許コード F080001860
整理番号 F080001860
掲載日 2008年4月11日
出願国 世界知的所有権機関(WIPO)
国際出願番号 2006JP325808
国際公開番号 WO 2007/083489
国際出願日 平成18年12月25日(2006.12.25)
国際公開日 平成19年7月26日(2007.7.26)
優先権データ
  • 特願2006-034413 (2006.1.17) JP
発明の名称 (英語) IN-PLANE EXPOSURE DEVICE AND IN-PLANE EXPOSURE METHOD
発明の概要(英語) [PROBLEMS] To provide a device and a method for exposing a photosensitive material attached to an inner surface of a cylinder, rectangular solid, or the like to light of a predetermined pattern. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] An exposure device includes: a guide rod inserted into the internal space of an object to be exposed and applying exposure light into the inside of the object to be exposed; and a stage for modifying a relative position and/or a relative angle between the object to be exposed and the guide rod. After performing focusing point adjustment of the irradiation spot of the exposure light and/or performing the exposure start position adjustment, the exposure light is applied to a predetermined position of the object to be exposed so as to expose the photosensitive material attached to the inner surface of the object to be exposed to a light of a predetermined pattern.
  • 出願人(英語)
  • ※2012年7月以前掲載分については米国以外のすべての指定国
  • Tokyo Denki University
  • 発明者(英語)
  • Horiuchi, Toshiyuki
  • Fujita, Katsuyuki
  • Yasuda, Takashi
国際特許分類(IPC)
指定国 AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BE BF BG BJ BR BW BY BZ CA CF CG CH CI CM CN CO CR CU CY CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI FR GA GB GD GE GH GM GN GQ GR GT GW HN HR HU ID IE IL IN IS IT JP KE KG KM KN KP KR KZ LA LC LK LR LS LT LU LV LY MA MC MD MG MK ML MN MR MW MX MY MZ NA NE NG NI NL NO NZ OM PG PH PL PT RO RS RU SC SD SE SG SI SK SL SM SN SV SY SZ TD TG TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
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