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SURFACE POSITION MEASURING METHOD AND SURFACE POSITION MEASURING DEVICE

外国特許コード F080002002
整理番号 F080002002
掲載日 2009年1月9日
出願国 世界知的所有権機関(WIPO)
国際出願番号 2005JP023633
国際公開番号 WO 2006/073068
国際出願日 平成17年12月22日(2005.12.22)
国際公開日 平成18年7月13日(2006.7.13)
優先権データ
  • 特願2005-001538 (2005.1.6) JP
発明の名称 (英語) SURFACE POSITION MEASURING METHOD AND SURFACE POSITION MEASURING DEVICE
発明の概要(英語) A surface position measuring method capable of measuring a position on a soft surfaceaccurately, with low invasiveness, and at high speed (real time). The methodcomprises the steps of measuring the thermal oscillation spectrum of a cantileverwith the distance between a cantilever probe and a sample surface being changed,extracting a fundamental mode component (spectrum area) from the obtained thermaloscillation spectrum, and measuring a change in the thermal oscillation spectrumarea (spectrum area) with respect to the distance. A position at which the areaof the cantilever thermal oscillation spectrum begins to change is evaluatedas a position on a sample surface.
  • 出願人(英語)
  • ※2012年7月以前掲載分については米国以外のすべての指定国
  • National University Corporation Hokkaido University
  • 発明者(英語)
  • Okajima, Takaharu
  • Tanaka, Masaru
  • Tokumoto, Hiroshi
国際特許分類(IPC)
指定国 AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BE BF BG BJ BR BW BY BZ CA CF CG CH CI CM CN CO CR CU CY CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI FR GA GB GD GE GH GM GN GQ GR GW HR HU ID IE IL IN IS IT JP KE KG KM KN KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV LY MA MC MD MG MK ML MN MR MW MX MZ NA NE NG NI NL NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SI SK SL SM SN SY SZ TD TG TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW
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