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DIFFRACTION IMAGE CAPTURING METHOD AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

外国特許コード F100002213
整理番号 F100002213
掲載日 2010年6月25日
出願国 世界知的所有権機関(WIPO)
国際出願番号 2009JP056960
国際公開番号 WO 2009/123311
国際出願日 平成21年4月3日(2009.4.3)
国際公開日 平成21年10月8日(2009.10.8)
優先権データ
  • 特願2008-098562 (2008.4.4) JP
発明の名称 (英語) DIFFRACTION IMAGE CAPTURING METHOD AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
発明の概要(英語) A charged particle beam microscope produces a diffraction image by parallel irradiating a sample (22) having a known structure with a charged particle beam and corrects the variation of the distance (L) dependent on the angle (θ) of diffraction between the sample and a detector by measuring the distance (r) reflecting the structure of the sample between the spots shown in the diffraction image. With this, the distortion varying with the off-axis distance from the optical axis shown in the diffraction image is corrected, and a high-accuracy structure analysis is achieved by accurately analyzing the positions of the spots shown in the diffraction image.
  • 出願人(英語)
  • ※2012年7月以前掲載分については米国以外のすべての指定国
  • Hitachi, Ltd.
  • National University Corporation Hokkaido University
  • 発明者(英語)
  • Gohara, Kazutoshi
  • Dobashi, Takashi
  • Koguchi, Masanari
  • Kamimura, Osamu
  • Ohta, Hiroya
国際特許分類(IPC)
指定国 AE AG AL AM AO AT AU AZ BA BB BE BF BG BH BJ BR BW BY BZ CA CF CG CH CI CM CN CO CR CU CY CZ DE DK DM DO DZ EC EE EG ES FI FR GA GB GD GE GH GM GN GQ GR GT GW HN HR HU ID IE IL IN IS IT JP KE KG KM KN KP KR KZ LA LC LK LR LS LT LU LV LY MA MC MD ME MG MK ML MN MR MT MW MX MY MZ NA NE NG NI NL NO NZ OM PG PH PL PT RO RS RU SC SD SE SG SI SK SL SM SN ST SV SY SZ TD TG TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN ZA ZM ZW
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