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PROCESS FOR PRODUCING FLUOROCARBON MICROSTRUCTURE, FLUOROCARBON MICROSTRUCTURE, AND MICROSYSTEM

外国特許コード F110003066
整理番号 137-US
掲載日 2011年5月25日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 52287108
公報番号 20100167014
公報番号 08414782
出願日 平成20年1月21日(2008.1.21)
公報発行日 平成22年7月1日(2010.7.1)
公報発行日 平成25年4月9日(2013.4.9)
国際出願番号 WO2008JP50724
国際出願日 平成20年1月21日(2008.1.21)
優先権データ
  • 特願2007-010065 (2007.1.19) JP
発明の名称 (英語) PROCESS FOR PRODUCING FLUOROCARBON MICROSTRUCTURE, FLUOROCARBON MICROSTRUCTURE, AND MICROSYSTEM
発明の概要(英語)

A process for producing a fluorocarbon microstructure capable of easily fabricating a three-dimensional fluorocarbon microstructure. The process for producing a fluorocarbon microstructure comprises a first processing step for forming, on a substrate (2), a film deposition portion with a given pattern made up of a through-hole figure by etching the substrate (2), a fabricating step for forming a fluorocarbon film (6) on an inner circumferential surface of a film deposition portion (9) to fabricate a fluorocarbon region surrounded by the fluorocarbon film (6), and a second processing step for fabricating the fluorocarbon microstructure protruding from a processing surface of the substrate (2) by etching a given region other than a fluorocarbon region on the substrate (2).

Hence, the three-dimensional fluorocarbon microstructure can be fabricated which comprises a complicated structure that has conventionally been hard to fabricate. Thus, a microchannel (1) equipped with the three-dimensional fluorocarbon microstructure can be easily fabricated.

  • 発明者/出願人(英語)
  • ARAKAWA TAKAHIRO
  • KUSAKAWA HIROYUKI
  • SHOJI SHUICHI
  • WASEDA UNIVERSITY
  • ARAKAWA TAKAHIRO
  • KUSAKAWA HIROYUKI
  • SHOJI SHUICHI
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 216/11
  • 428/156
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