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Interference measuring device 実績あり

外国特許コード F110003137
整理番号 A062-12US
掲載日 2011年6月15日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 24020103
公報番号 20030160969
公報番号 06950195
出願日 平成15年4月9日(2003.4.9)
公報発行日 平成15年8月28日(2003.8.28)
公報発行日 平成17年9月27日(2005.9.27)
国際出願番号 PCT/JP01/02534
国際公開番号 WO01/75394
国際出願日 平成13年3月28日(2001.3.28)
国際公開日 平成13年10月11日(2001.10.11)
優先権データ
  • 特願2000-097877 (2000.3.30) JP
  • 特願2000-244031 (2000.8.7) JP
発明の名称 (英語) Interference measuring device 実績あり
発明の概要(英語) In an interference measuring device, which includes: a coherent beam generating source; a sample to be measured; a lens system for forming an image of the sample to be measured on an observing plane; an interference element for splitting a coherent beam into two systems, and forming an interference image on the observing plane or a plane equivalent thereto; an image pickup element for picking up the interference image on the observing plane; and a calculating device having functions of capturing and storing the interference image converted to electric signals by the image pickup element, and determining the phase distribution changed by the sample to be measured from the interference image by calculation, wherein a means for removing the phase change distribution due to the interference element is provided.
  • 発明者/出願人(英語)
  • Endo, Junji; Sakado [JP]
  • Chen, Jun; Atsugi [JP]
  • Hitachi, Ltd., Tokyo [JP]
  • Japan Science and Technology Agency, Saitama [JP]
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 356/520
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Phenomena of Extreme Conditions AREA
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