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LASER HEATER 実績あり

外国特許コード F110003263
整理番号 A051-13EP
掲載日 2011年6月22日
出願国 欧州特許庁(EPO)
出願番号 99943278
公報番号 1116802
公報番号 1116802
出願日 平成11年9月10日(1999.9.10)
公報発行日 平成13年7月18日(2001.7.18)
公報発行日 平成25年11月13日(2013.11.13)
国際出願番号 WO1999JP04948
国際出願日 平成11年9月10日(1999.9.10)
優先権データ
  • 特願平10-258973 (1998.9.11) JP
発明の名称 (英語) LASER HEATER 実績あり
発明の概要(英語)

A laser heating apparatus (20) for heating a thin film forming substrate (1) in a thin film manufacturing process is disclosed. The substrate (1) set in position in a vacuum chamber (101) of a film forming apparatus (100)is irradiated with a laser light and is thereby heated to a desired temperature. The laser light is guided to a region of the substrate (1) by means of an optical fiber (23), and the laser beams emanating from the outlet end of the optical fiber (23) is incident directly or indirectly via a reflecting mirror (33) on the substrate (1). The optical fiber (23) is sheathed with a jacket tube (24) whose interior is vacuum drawn. Using a laser light enables the arrangement to be used even in an oxidizing atmosphere and even an insulating substrate to be heated. <IMAGE>

  • 出願人(英語)
  • JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION
  • JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY
  • 発明者(英語)
  • KOINUMA, HIDEOMI
  • KAWASAKI, MASASHI
国際特許分類(IPC)
指定国 AT,BE,CH,CY,DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,IT,LI,LU,MC,NL,PT,SE
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Single Molecule and Atom Level Reactions AREA
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