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MASKING MECHANISM FOR FILM-FORMING DEVICE

外国特許コード F110003294
整理番号 A051-93EP
掲載日 2011年6月22日
出願国 欧州特許庁(EPO)
出願番号 03797681
公報番号 1541706
公報番号 1541706
出願日 平成15年9月19日(2003.9.19)
公報発行日 平成17年6月15日(2005.6.15)
公報発行日 平成24年5月30日(2012.5.30)
国際出願番号 PCT/JP2003/011950
国際公開番号 WO2004/027107
国際出願日 平成15年9月19日(2003.9.19)
国際公開日 平成16年4月1日(2004.4.1)
優先権データ
  • 特願2002-275365 (2002.9.20) JP
発明の名称 (英語) MASKING MECHANISM FOR FILM-FORMING DEVICE
  • 出願人(英語)
  • Japan Science and Technology Agency
  • 発明者(英語)
  • KOINUMA, Hideomi
  • YAMAMOTO, Yukio
  • MATSUMOTO, Yuji
  • TAKAHASHI, Ryota
国際特許分類(IPC)
欧州特許分類/主・副
  • C23C14/04B2
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Single Molecule and Atom Level Reactions AREA
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