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MEASURING PROBE, SAMPLE SURFACE MEASURING APPARATUS AND SAMPLE SURFACE MEASURING METHOD 新技術説明会

外国特許コード F110004015
整理番号 K02206WO
掲載日 2011年7月8日
出願国 欧州特許庁(EPO)
出願番号 07714179
公報番号 1985991
公報番号 1985991
出願日 平成19年2月14日(2007.2.14)
公報発行日 平成20年10月29日(2008.10.29)
公報発行日 平成24年6月13日(2012.6.13)
国際出願番号 PCT/JP2007/052626
国際公開番号 WO2007/094365
国際出願日 平成19年2月14日(2007.2.14)
国際公開日 平成19年8月23日(2007.8.23)
優先権データ
  • 特願2006-037030 (2006.2.14) JP
発明の名称 (英語) MEASURING PROBE, SAMPLE SURFACE MEASURING APPARATUS AND SAMPLE SURFACE MEASURING METHOD 新技術説明会
  • 出願人(英語)
  • Japan Science and Technology Agency
  • 発明者(英語)
  • FUKUZAWA, Kenji
  • SHIKITA, Mitsuhiro
  • TERADA, Satoshi
国際特許分類(IPC)
欧州特許分類/主・副
  • B82Y35/00
  • G01Q20/02
  • G01Q60/26
  • G01Q60/38
指定国 DE,GB
参考情報 (研究プロジェクト等) PRESTO Structure Function and Measurement Analysis AREA
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