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Precise and high-load-resistance moving method and device

外国特許コード F110004066
整理番号 N021-05EP2
掲載日 2011年7月8日
出願国 欧州特許庁(EPO)
出願番号 07003909
公報番号 1793432
公報番号 1793432
出願日 平成17年5月20日(2005.5.20)
公報発行日 平成19年6月6日(2007.6.6)
公報発行日 平成23年1月26日(2011.1.26)
優先権データ
  • 特願2004-150134 (2004.5.20) JP
発明の名称 (英語) Precise and high-load-resistance moving method and device
  • 出願人(英語)
  • Japan Science and Technology Agency
  • 発明者(英語)
  • Kawakatsu, Hideki
国際特許分類(IPC)
欧州特許分類/主・副
  • H01L41/09F
指定国 CH,DE,FR,GB,LI
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Nano Factory and Process Monitoring for Advanced Information Processing and Communication AREA
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