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METHOD AND DEVICE FOR PRECISELY RESISTING AND MOVING HIGH LOAD

外国特許コード F110004067
整理番号 N021-05WO
掲載日 2011年7月8日
出願国 欧州特許庁(EPO)
出願番号 05741265
公報番号 1753120
公報番号 1753120
出願日 平成17年5月20日(2005.5.20)
公報発行日 平成19年2月14日(2007.2.14)
公報発行日 平成21年7月22日(2009.7.22)
国際出願番号 PCT/JP2005/009229
国際公開番号 WO2005/114825
国際出願日 平成17年5月20日(2005.5.20)
国際公開日 平成17年12月1日(2005.12.1)
優先権データ
  • 特願2004-150134 (2004.5.20) JP
発明の名称 (英語) METHOD AND DEVICE FOR PRECISELY RESISTING AND MOVING HIGH LOAD
  • 出願人(英語)
  • Japan Science and Technology Agency
  • 発明者(英語)
  • KAWAKATSU, Hideki
国際特許分類(IPC)
欧州特許分類/主・副
  • H01L41/09F
指定国 CH,DE,FR,GB,LI
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Nano Factory and Process Monitoring for Advanced Information Processing and Communication AREA
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