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DYNAMIC MODE AFM APPARATUS

外国特許コード F110004073
整理番号 N021-13WO
掲載日 2011年7月8日
出願国 欧州特許庁(EPO)
出願番号 09746445
公報番号 2275798
出願日 平成21年4月8日(2009.4.8)
公報発行日 平成23年1月19日(2011.1.19)
国際出願番号 PCT/JP2009/057158
国際公開番号 WO2009/139238
国際出願日 平成21年4月8日(2009.4.8)
国際公開日 平成21年11月19日(2009.11.19)
優先権データ
  • 特願2008-124891 (2008.5.12) JP
発明の名称 (英語) DYNAMIC MODE AFM APPARATUS
  • 出願人(英語)
  • Japan Science and Technology Agency
  • 発明者(英語)
  • KAWAKATSU, Hideki
  • KOBAYASHI, Dai
国際特許分類(IPC)
欧州特許分類/主・副
  • G01Q60/34
  • B82Y15/00
  • B82Y35/00
指定国 AT,BE,BG,CH,CY,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,FR,GB,GR,HR,HU,IE,IS,IT,LI,LT,LU,LV,MC,MK,MT,NL,NO,PL,PT,RO,SE,SI,SK,TR,AL,BA,RS
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Nano Factory and Process Monitoring for Advanced Information Processing and Communication AREA
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