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MECHANICAL VIBRATOR AND PRODUCTION METHOD THEREFOR

外国特許コード F110004870
整理番号 N021-07WO
掲載日 2011年7月22日
出願国 大韓民国
出願番号 20077015483
公報番号 20070086957
公報番号 100912853
出願日 平成19年7月5日(2007.7.5)
公報発行日 平成19年8月27日(2007.8.27)
公報発行日 平成21年8月18日(2009.8.18)
優先権データ
  • 特願2004-352728 (2004.12.6) JP
発明の名称 (英語) MECHANICAL VIBRATOR AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
発明の概要(英語)

A mechanical vibrator which defines the starting point of a cantilever at the front end of a base and can determine the length of the cantilever without depending on a positioning accuracy and an etching amount, and a production method of the mechanical vibrator. The mechanical vibrator, produced by processing a wafer, comprises a base (101) formed with an SOI wafer support base and a structure (102) formed from an SOI-wafer silicon thin film and becoming a cantilever horizontally projecting from the base (101), wherein a part of a buried oxide film (103) between the base (101) and the structure (102) becoming a cantilever is removed, and a cantilever (104) starting at the tip end (105) of the base (101) and directly joined with the structure (102) becoming a cantilever is provided to at least a part including the tip end (105) of the base (101) from which the buried oxide film (103)

has been removed.

  • 出願人(英語)
  • JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY
  • 発明者(英語)
  • KOBAYASHI DAI,
  • KAWAKATSU HIDEKI,
  • TOSHIYOSHI HIROSHI
国際特許分類(IPC)
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Nano Factory and Process Monitoring for Advanced Information Processing and Communication AREA
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