TOP > 外国特許検索 > WINDOW TYPE PROBE, PLASMA MONITORING DEVICE, ANDPLASMA PROCESSING DEVICE

WINDOW TYPE PROBE, PLASMA MONITORING DEVICE, ANDPLASMA PROCESSING DEVICE 実績あり

外国特許コード F110004968
整理番号 RJ005P27KR
掲載日 2011年7月28日
出願国 大韓民国
出願番号 20047016922
公報番号 20040108751
公報番号 1005820130000
出願日 平成16年10月21日(2004.10.21)
公報発行日 平成16年12月24日(2004.12.24)
公報発行日 平成18年5月15日(2006.5.15)
国際出願番号 PCT/JP2003/004016
国際公開番号 WO2003/092059
国際出願日 平成15年3月28日(2003.3.28)
国際公開日 平成15年11月6日(2003.11.6)
優先権データ
  • 特願2002-122240 (2002.4.24) JP
発明の名称 (英語) WINDOW TYPE PROBE, PLASMA MONITORING DEVICE, ANDPLASMA PROCESSING DEVICE 実績あり
発明の概要(英語) The dielectric member (1) having probe electrode (2) is as the invention relating to the window type probe, and the plasma monitor unit and plasma process apparatus in the side surface installed at the opening part of the electric conductive supporter ash (5), in which it is done by the purpose to directly conveniently detect the state of the plasma generated with the approval of the high frequency or the high voltage and the opening part is formed in at least a part of the direction facing plasma. And electric conductive supporter ash (5) to at least configuration set up.
  • 出願人(英語)
  • JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY
  • 発明者(英語)
  • YASAKA,MITSUO
国際特許分類(IPC)
ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、問合せボタンを押してください。

PAGE TOP

close
close
close
close
close
close