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Apparatus for evaluating electrical characteristics

外国特許コード F110005041
整理番号 A041-14US
掲載日 2011年8月18日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 14890002
公報番号 20020178800
公報番号 06833719
出願日 平成14年6月19日(2002.6.19)
公報発行日 平成14年12月5日(2002.12.5)
公報発行日 平成16年12月21日(2004.12.21)
国際出願番号 PCT/JP00/08776
国際公開番号 WO01/46674
国際出願日 平成12年12月12日(2000.12.12)
国際公開日 平成13年6月28日(2001.6.28)
優先権データ
  • 特願平11-360274 (1999.12.20) JP
発明の名称 (英語) Apparatus for evaluating electrical characteristics
発明の概要(英語) An apparatus provided for evaluating electrical characteristics by bringing a plurality of metal probes in contact with a sample. A metal probe is formed on a free end of a cantilever on which are formed a resistor, two electrodes for resistance detection, and an electrode for measuring electrical characteristics. A tip of the metal probe projects beyond the free end of the cantilever. The probe position is controlled by an atomic force microscopy.
  • 発明者/出願人(英語)
  • Hasegawa, Tsuyoshi; Wako [JP]
  • Aono, Masakazu; Wako [JP]
  • Nakayama, Tomonobu; Wako [JP]
  • Okuda, Taichi; Tsukuba [JP]
  • Terabe, Kazuya; Toda [JP]
  • Tanaka, Hirofumi; Niiza [JP]
  • Japan Science and Technology Corporation, Kawaguchi [JP]
  • Riken, Wako [JP]
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 324/762
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Quantum Effects and Related Physical Phenomena AREA
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