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Corpuscular beam image detector using gas amplification by pixel type electrodes

外国特許コード F110005076
整理番号 A051-48US
掲載日 2011年8月18日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 06923702
公報番号 20020134945
公報番号 06822239
出願日 平成14年2月22日(2002.2.22)
公報発行日 平成14年9月26日(2002.9.26)
公報発行日 平成16年11月23日(2004.11.23)
国際出願番号 PCT/JP01/05165
国際公開番号 WO02/01249
国際出願日 平成13年6月18日(2001.6.18)
国際公開日 平成14年1月3日(2002.1.3)
優先権データ
  • 特願2000-191994 (2000.6.27) JP
発明の名称 (英語) Corpuscular beam image detector using gas amplification by pixel type electrodes
発明の概要(英語) A particle beam image detector employing gas amplification attained by pixel-type electrodes has high sensitivity and improved reliability of electrodes. Electrons e- produced through ionization of the gas move under the force of a drift field toward a pixel in the form of a columnar anode electrode. Avalanche amplification occurs in the vicinity of the columnar anode electrode due to a strong electric field between anode and cathode and the pointed shape of the electrode. The positive ions quickly drift toward strip-shaped cathode electrodes. Electric charges are generated on the columnar anode electrodes and also on the strip-shaped cathodes and these electric charges are observable to determine the anode or cathode strip at which this amplification phenomenon occurs and thus to obtain information as to position of the incident particle beam.
  • 発明者/出願人(英語)
  • Tanimori, Toru; Kyoto [JP]
  • Ochi, Atsuhiko; Kobe [JP]
  • Japan Science and Technology Corporation, [JP]
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 250/385.1
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Single Molecule and Atom Level Reactions AREA
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