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Specimen observation system for applying external magnetic field

外国特許コード F110005116
整理番号 A062-21US
掲載日 2011年8月23日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 45061403
公報番号 20040061066
公報番号 06838675
出願日 平成15年6月17日(2003.6.17)
公報発行日 平成16年4月1日(2004.4.1)
公報発行日 平成17年1月4日(2005.1.4)
国際出願番号 PCT/JP02/00324
国際公開番号 WO02/08021
国際出願日 平成14年1月18日(2002.1.18)
国際公開日 平成14年10月10日(2002.10.10)
優先権データ
  • 特願2001-097343 (2001.3.28) JP
発明の名称 (英語) Specimen observation system for applying external magnetic field
発明の概要(英語) To prevent the displacement from an optical axis of a charged particle beam from being made independent of the direction (parallel to or perpendicular to the optical axis) of a magnetic field applied to a specimen, a system including an electron microscope and using a charged particle beam optical system is provided with a source of a charged particle beam, a condenser optical system, a specimen to be observed, a system for applying a magnetic field to the specimen, an imaging optical system and an image observation/recording apparatus, is provided with first and second charged particle beam deflection systems in order along a direction in which the charged particle beam travels between the condenser optical system and the specimen, is provided with third and fourth charged particle beam deflection systems in order between the specimen and the imaging lens system, and the quantity and the direction of the deflection of the charged particle beam by each deflection system and the intensity and the bearing of a magnetic field applied to the specimen are related according to predetermined relation.
  • 発明者/出願人(英語)
  • Harada, Ken; Fuchu [JP]
  • Endo, Junji; Sakado [JP]
  • Osakabe, Nobuyuki; Kawagoe [JP]
  • Hitachi, Ltd., Tokyo [JP]
  • Japan Science and Technology Agency, Saitama [JP]
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 250/396
  • 250/311
  • 250/307
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Phenomena of Extreme Conditions AREA
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