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Measuring probe, sample surface measuring apparatus and sample surface measuring method 新技術説明会

外国特許コード F110005396
整理番号 K02206WO
掲載日 2011年9月5日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 27933107
公報番号 20090027690
公報番号 07557933
出願日 平成20年8月13日(2008.8.13)
公報発行日 平成21年1月29日(2009.1.29)
公報発行日 平成21年7月7日(2009.7.7)
国際出願番号 PCT/JP2007/052626
国際公開番号 WO2007/094365
国際出願日 平成19年2月14日(2007.2.14)
国際公開日 平成19年8月23日(2007.8.23)
優先権データ
  • 特願2006-037030 (2006.2.14) JP
発明の名称 (英語) Measuring probe, sample surface measuring apparatus and sample surface measuring method 新技術説明会
発明の概要(英語) A measurement probe 1 for measuring a surface of sample S comprises a base section 10, a head section 30 having a probe tip 31, and a support structure section 15 which supports the head section 30 with the base section 10 along a support axis substantially orthogonal to the vertical axis in the direction of protrusion of the probe tip 31. The support structure section 15 includes two spring structure sections of a first spring structure section 20 deformable in the direction of the vertical axis; and a second spring structure section 25 deformable in the direction of the lateral axis, and a reflection surface 32 which is formed with a reflection pattern varying the reflectance within the surface is provided at the side opposite to the probe tip 31 of the head section 30. By using this structure, there are obtained the measurement probe, the sample surface measuring apparatus, and the sample surface measuring method, which can improve the accuracy of measurement of the sample surface without using a special measuring system.
  • 発明者/出願人(英語)
  • Fukuzawa, Kenji; Nagoya [JP]
  • Shikita, Mitsuhiro; Nagoya [JP]
  • Terada, Satoshi; Nagoya [JP]
  • Japan Science and Technology Agency, Kawaguchi-shi, Saitama [JP]
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 356/600
  • 356/601
  • 356/445
  • 33/559
  • 33/556
  • 33/558.01
  • 33/558.04
参考情報 (研究プロジェクト等) PRESTO Structure Function and Measurement Analysis AREA
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