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Method and device for precisely resisting and moving high load

外国特許コード F110005505
整理番号 N021-05US1
掲載日 2011年9月7日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 55638409
公報番号 20100060105
公報番号 07834519
出願日 平成21年9月9日(2009.9.9)
公報発行日 平成22年3月11日(2010.3.11)
公報発行日 平成22年11月16日(2010.11.16)
国際出願番号 PCT/JP2005/009229
国際出願日 平成17年5月20日(2005.5.20)
優先権データ
  • 特願2004-150134 (2004.5.20) JP
発明の名称 (英語) Method and device for precisely resisting and moving high load
発明の概要(英語) A precise and high load resistance moving method to perform fine movement positioning of the moving body, by fixing a piezoelectric element which generates a shear deformation, to a bottom surface of a wedge-shaped moving element placed on a base, and deforming the piezoelectric element by driving the piezoelectric element with drive pulses to move the wedge-shaped moving element along a first axis in which the wedge-shaped moving element drives into or away from a moving body to move the moving body along a second axis in upward and downward direction relative to the base. Also, a precise and high load resistance moving device including a wedge-shaped moving element, a pulse source, and a moving body vertically movable in upward or downward direction relative to the base.
  • 発明者/出願人(英語)
  • Kawakatsu, Hideki; Tokyo [JP]
  • Japan Science and Technology Agency, Kawaguchi-shi [JP]
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 310/333
  • 310/328
  • 367/69
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Nano Factory and Process Monitoring for Advanced Information Processing and Communication AREA
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