TOP > 外国特許検索 > Scanning probe microscope apparatus

Scanning probe microscope apparatus

外国特許コード F110005511
整理番号 N021-11WO
掲載日 2011年9月7日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 37568307
公報番号 20090261249
公報番号 07904966
出願日 平成21年1月30日(2009.1.30)
公報発行日 平成21年10月22日(2009.10.22)
公報発行日 平成23年3月8日(2011.3.8)
国際出願番号 PCT/JP2007/064237
国際公開番号 WO2008/015916
国際出願日 平成19年7月19日(2007.7.19)
国際公開日 平成20年2月7日(2008.2.7)
優先権データ
  • 特願2006-207297 (2006.7.31) JP
発明の名称 (英語) Scanning probe microscope apparatus
発明の概要(英語) There is provided a scanning probe microscope apparatus which has a high sensitivity for the interaction between the cantilever and the sample and comprises a cantilever that can oscillate stably in dynamic mode even when a mechanical Q value is low.A driving signal having a frequency close to the resonant frequency of the cantilever (4) is supplied from the signal generator (9) to the oscillation exciting means (10) to separately (forcibly) oscillate the cantilever (4). And the frequency of the driving signal or the resonant frequency of the cantilever is controlled (by adjusting the distance between the cantilever (4) and the sample (1)), such that the phase difference between the oscillation of the cantilever (4) detected by the oscillation detecting means (5) and the driving signal becomes zero, i.e. the frequency of the driving signal and the resonant frequency of the cantilever (4) match.
  • 発明者/出願人(英語)
  • Kobayashi, Dai; Adachi-ku [JP]
  • Nishida, Shuhei; Kunitachi [JP]
  • Kawakatsu, Hideki; Setagaya-ku [JP]
  • Japan Science and Technology Agency, Kawaguchi-shi [JP]
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 850/37
  • 850/1
  • 850/2
  • 850/5
  • 977/851
  • 977/863
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Nano Factory and Process Monitoring for Advanced Information Processing and Communication AREA
ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、問合せボタンを押してください。

PAGE TOP

close
close
close
close
close
close