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Dynamic mode AFM apparatus

外国特許コード F110005513
整理番号 N021-13WO
掲載日 2011年9月7日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 99007009
公報番号 20110055983
公報番号 08151368
出願日 平成22年11月5日(2010.11.5)
公報発行日 平成23年3月3日(2011.3.3)
公報発行日 平成24年4月3日(2012.4.3)
国際出願番号 PCT/JP2009/057158
国際公開番号 WO2009/139238
国際出願日 平成21年4月8日(2009.4.8)
国際公開日 平成21年11月19日(2009.11.19)
優先権データ
  • 特願2008-124891 (2008.5.12) JP
発明の名称 (英語) Dynamic mode AFM apparatus
発明の概要(英語) A dynamic mode AFM apparatus for allowing high-speed identification of atoms of a sample surface, which comprises a scanner for performing three-dimensional scanning; an AC signal of a resonance frequency in a mode with flexural vibration of a cantilever; an AC signal of a second frequency which is lower than the frequency of the flexural vibration; a probe-sample distance modulated with the second frequency; a detector for detecting fluctuation of the resonance frequency; a detector for detecting vibration of the cantilever; and a detector for detecting a fluctuation component which is contained in a detected signal by detecting the resonance frequency fluctuation and synchronized with a modulation signal of the probe-sample distance, wherein an inclination of the resonance frequency against the probe-sample distance is obtained from the strength and polarity of the fluctuation component.
  • 発明者/出願人(英語)
  • Kawakatsu, Hideki; Tokyo [JP]
  • Kobayashi, Dai; Tokyo [JP]
  • Japan Science and Technology Agency, [JP]
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 850/5
  • 580/37
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Nano Factory and Process Monitoring for Advanced Information Processing and Communication AREA
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