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PLASMA GENERATOR, PLASMA CONTROL METHOD AND METHOD OF PRODUCING SUBSTRATE 実績あり

外国特許コード F120006337
整理番号 V312P005US1
掲載日 2012年3月22日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 83616110
公報番号 20100304046
公報番号 08444806
出願日 平成22年7月14日(2010.7.14)
公報発行日 平成22年12月2日(2010.12.2)
公報発行日 平成25年5月21日(2013.5.21)
優先権データ
  • 特願2002-363988 (2002.12.16) JP
  • 特願2002-363989 (2002.12.16) JP
  • 特願2003-014718 (2003.1.23) JP
  • 20050539254 (2005.6.16) US
発明の名称 (英語) PLASMA GENERATOR, PLASMA CONTROL METHOD AND METHOD OF PRODUCING SUBSTRATE 実績あり
発明の概要(英語)

The present invention aims to provide a plasma generator capable of creating a spatially uniform distribution of high-density plasma. This object is achieved by the following construction. Multiple antennas are located on the sidewall of a vacuum chamber, and a RF power source is connected to three or four antennas in parallel via a plate-shaped conductor. The length of the conductor of each antenna is shorter than the quarter wavelength of the induction electromagnetic wave generated within the vacuum chamber. Setting the length of the conductor of the antenna in such a manner prevents the occurrence of a standing wave and thereby maintains the uniformity of the plasma within the vacuum chamber. In addition, the plate-shaped conductor improves the heat-releasing efficiency, which also contributes to the suppression of the impedance.

  • 発明者/出願人(英語)
  • MIYAKE SHOJI
  • EBE AKINORI
  • SHOJI TATSUO
  • SETSUHARA YUICHI
  • JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY
  • MIYAKE SHOJI
  • EBE AKINORI
  • SHOJI TATSUO
  • SETSUHARA YUICHI
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 118/663
  • 118/723I
  • 427/569
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