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SCANNING PROBE MICROSCOPE

外国特許コード F120006408
整理番号 2008-050US
掲載日 2012年4月6日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 201013147275
公報番号 20120030845
公報番号 08341760
出願日 平成22年1月14日(2010.1.14)
公報発行日 平成24年2月2日(2012.2.2)
公報発行日 平成24年12月25日(2012.12.25)
国際出願番号 WO2010JP00164
国際出願日 平成22年1月14日(2010.1.14)
優先権データ
  • 特願2009-021675 (2009.2.2) JP
発明の名称 (英語) SCANNING PROBE MICROSCOPE
発明の概要(英語)

An atomic force microscope (AFM) (1) is one type of SPM, and detects a resonance frequency shift as an amount of interaction between a probe and a sample. The AFM (1) performs distance modulation control while performing feedback control of a probe-sample distance so as to keep the amount of interaction constant. The distance modulation control varies the probe-sample distance at a distance modulation frequency higher than a response speed of the feedback control. The AFM (1) further acquires the interaction amounts detected during the variation of the probe-sample distance by the distance modulation control while performing relative scanning between the probe and the sample, and detects a distribution of the interaction amounts in a three-dimensional space having a dimension within a scanning range and a thickness within a variation range of the probe-sample distance.

The present invention thereby provides a scanning probe microscope (SPM) capable of preferably measuring the distribution of the interactions between the probe and the sample in the three-dimensional space while performing stable probe position control.

  • 発明者/出願人(英語)
  • FUKUMA TAKESHI
  • UEDA YASUMASA
  • NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION
  • KANAZAWA UNIVERSITY
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 850/1
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