TOP > 外国特許検索 > SURFACE ANALYZER OF OBJECT TO BE MEASURED AND ANALYZING METHOD

SURFACE ANALYZER OF OBJECT TO BE MEASURED AND ANALYZING METHOD

外国特許コード F120006705
整理番号 N011-10WO
掲載日 2012年5月28日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 93725309
公報番号 20120061564
公報番号 08541738
出願日 平成21年4月7日(2009.4.7)
公報発行日 平成24年3月15日(2012.3.15)
公報発行日 平成25年9月24日(2013.9.24)
国際出願番号 WO2009JP57121
国際出願日 平成21年4月7日(2009.4.7)
優先権データ
  • 特願2008-101984 (2008.4.9) JP
発明の名称 (英語) SURFACE ANALYZER OF OBJECT TO BE MEASURED AND ANALYZING METHOD
発明の概要(英語)

A surface analyzer 1 includes: a sample stage 6 for placing a sample 5

a source for generating multicharged ions 3 for irradiating a beam 4 of multicharged ions having a valence of 15 or higher to the sample 5 placed on the sample stage 6

a mass analyzer 8 for detecting secondary ions 7 generated as a result of irradiating the beam of multicharged ions 4 to the sample 5

a secondary electron detector 10 for detecting secondary electrons 9 generated as a result of irradiating the beam of multicharged ions 4 to the sample 5

and a controller of mass analyzer 12 for generating analysis start signals in response to the secondary electron signals received, and transmitting the start signals to the mass analyzer. The surface analyzer 1 enables high-quality analysis of the surface of the sample in short time by using the multicharged ions.

  • 発明者/出願人(英語)
  • TONA MASAHIDE
  • OHTANI SHUNSUKE
  • SAKURAI MAKOTO
  • JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY
  • NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KOBE UNIVERSITY
  • THE UNIVERSITY OF ELECTRO-COMMUNICATIONS
  • TONA MASAHIDE
  • OHTANI SHUNSUKE
  • SAKURAI MAKOTO
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 250/307
  • 250/309
  • 250/492.3
参考情報 (研究プロジェクト等) CREST Creation of Ultrafast, Ultralow Power, Super-performance Nanodevices and Systems AREA
ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、問合せボタンを押してください。

PAGE TOP

close
close
close
close
close
close