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PLASMA GENERATION DEVICE, PLASMA CONTROL METHOD, AND SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD 実績あり

外国特許コード F120006713
整理番号 V312P005KR3
掲載日 2012年5月28日
出願国 大韓民国
出願番号 20117019924
公報番号 20110106949
公報番号 101186822
出願日 平成15年12月12日(2003.12.12)
公報発行日 平成23年9月29日(2011.9.29)
公報発行日 平成24年9月28日(2012.9.28)
優先権データ
  • 特願2002-363988 (2002.12.16) JP
  • 特願2002-363989 (2002.12.16) JP
  • 特願2003-014718 (2003.1.23) JP
発明の名称 (英語) PLASMA GENERATION DEVICE, PLASMA CONTROL METHOD, AND SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD 実績あり
  • 出願人(英語)
  • JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY,
  • MIYAKE SHOJI,
  • EBE AKINORI
  • 発明者(英語)
  • MIYAKE SHOJI,
  • EBE AKINORI,
  • SHOJI TATSUO,
  • SETSUHARA YUICHI
国際特許分類(IPC)
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