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PLASMA GENERATOR AND METHOD OF GENERATING PLASMA USING THE SAME 新技術説明会

外国特許コード F120006824
掲載日 2012年8月9日
出願国 世界知的所有権機関(WIPO)
国際出願番号 2007JP052893
国際公開番号 WO 2007/105411
国際出願日 平成19年2月17日(2007.2.17)
国際公開日 平成19年9月20日(2007.9.20)
優先権データ
  • 特願2006-061673 (2006.3.7) JP
発明の名称 (英語) PLASMA GENERATOR AND METHOD OF GENERATING PLASMA USING THE SAME 新技術説明会
発明の概要(英語)

A plasma generator in which the variation of the impedance in the cavity before and after plasma is ignited is less and hardly affected by the shape of the cavity, and the ignitability of the plasma is improved and a method of generating plasma using the plasma generator are provided. The plasma generator comprises a nonconductive gas flow pipe (1) for introducing a gas (9) for generating plasma and discharging it into the atmosphere and a conductive antenna pipe (2) surrounding the gas flow pipe. A microwave (7) is applied to the antenna pipe to change the gas in the gas flow pipe into plasma. The plasma generator is characterized in that a slit (3) with a predetermined length is formed in the antenna pipe (2) along the axial direction of the gas flow pipe. Preferably, the plasma generator is characterized in that the length of the slit is an integral multiple of the half-wave length of the applied microwave.

  • 出願人(英語)
  • ※2012年7月以前掲載分については米国以外のすべての指定国
  • UNIVERSITY OF THE RYUKYUS,
  • YONESU, AKIRA
  • 発明者(英語)
  • YONESU, AKIRA
国際特許分類(IPC)
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