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Ion Source 実績あり

外国特許コード F120007013
掲載日 2012年11月19日
出願国 アメリカ合衆国
出願番号 78065107
公報番号 20080067411
公報番号 07569837
出願日 平成19年7月20日(2007.7.20)
公報発行日 平成20年3月20日(2008.3.20)
公報発行日 平成21年8月4日(2009.8.4)
優先権データ
  • 特願2005-053762 (2005.2.28) JP
発明の名称 (英語) Ion Source 実績あり
発明の概要(英語)

It is a technical challenge to provide a small-sized ion source excellent in operability. An ion source of the present invention includes: a cylindrical insulation tube (2) opened upward and opened at part of its lower surface

a plurality of hollow cylindrical permanent magnets (3), provided on the outer peripheral surface of the insulation tube to be arranged in a row in the axial direction of the insulation tube

a gas supplying means (34, 35, 20) for supplying gas into the insulation tube

a cathode electrode, at the tip end of which a fitting unit (19) for fitting of a solid material (18) there to is formed

an annular anode electrode (5), which is fitted to an opening in the lower surface of the insulation tube

an upper frame (6), which blocks the upper portion of the insulation tube and suspends the cathode electrode so as to allow the fitting unit to approach the anode electrode

and a lower frame (7), in which an extraction port (37) is formed for extracting ions emitted from the anode electrode, and on which the insulation tube is mounted.

  • 発明者/出願人(英語)
  • NISHINO SHIGEHIRO
  • ONO RYOICHI
  • SHIGEHIRO NISHINO
  • RYOICHI ONO
  • KYOTO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
国際特許分類(IPC)
米国特許分類/主・副
  • 250/423R
  • 250/423R
  • 250/425
  • 313/230
  • 313/231.41
  • 315/111.31
  • 315/111.41
  • 315/111.81
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