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PHOTOINDUCED CARRIER LIFETIME MEASUREMENT DEVICE AND PHOTOINDUCED CARRIER LIFETIME MEASUREMENT METHOD

外国特許コード F130007549
整理番号 S2012-0154-N0
掲載日 2013年7月16日
出願国 世界知的所有権機関(WIPO)
国際出願番号 2012JP082038
国際公開番号 WO 2013/089088
国際出願日 平成24年12月11日(2012.12.11)
国際公開日 平成25年6月20日(2013.6.20)
優先権データ
  • 特願2011-276215 (2011.12.16) JP
  • 特願2012-253129 (2012.11.19) JP
発明の名称 (英語) PHOTOINDUCED CARRIER LIFETIME MEASUREMENT DEVICE AND PHOTOINDUCED CARRIER LIFETIME MEASUREMENT METHOD
発明の概要(英語)

The invention contains: light sources (20, 22) that shine light of different wavelengths, said light being for generating a photoinduced carrier in a semiconductor substrate (S)

a microwave generation section (10) that generates a microwave that irradiates the semiconductor substrate (S)

and a detection section (30) that detects the intensity of the microwave that has passed through the semiconductor substrate. Said invention also contains a computation section (50) that: computes an effective carrier lifetime for each light wavelength on the basis of the microwave intensity detected when at least the aforementioned two types of light are shone

and on the basis of the computed effective carrier lifetime for each wavelength, computes a bulk carrier lifetime for the semiconductor substrate (S) and computes a surface recombination velocity.

  • 出願人(英語)
  • ※2012年7月以前掲載分については米国以外のすべての指定国
  • NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION TOKYO UNIVERSITY OF AGRICULTURE AND TECHNOLOGY
  • 発明者(英語)
  • SAMESHIMA, TOSHIYUKI
国際特許分類(IPC)
※ 国立大学法人東京農工大学では、先端産学連携研究推進センターにおいて、知的財産の創出・権利化・活用に取り組んでいます。上記の特許・技術の内容および導入に興味・関心がありましたら、当センターまでお気軽にお問い合わせください。

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