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METHOD FOR ETCHING METAL OR METAL OXIDE BY OZONE WATER, METHOD FOR SMOOTHING SURFACE OF METAL OR METAL OXIDE BY OZONE WATER, AND PATTERNING METHOD USING OZONE WATER

外国特許コード F130007702
整理番号 K02821WO
掲載日 2013年11月20日
出願国 世界知的所有権機関(WIPO)
国際出願番号 2013JP062261
国際公開番号 WO 2013/161959
国際出願日 平成25年4月25日(2013.4.25)
国際公開日 平成25年10月31日(2013.10.31)
優先権データ
  • 特願2012-103285 (2012.4.27) JP
発明の名称 (英語) METHOD FOR ETCHING METAL OR METAL OXIDE BY OZONE WATER, METHOD FOR SMOOTHING SURFACE OF METAL OR METAL OXIDE BY OZONE WATER, AND PATTERNING METHOD USING OZONE WATER
発明の概要(英語)

Provided are a method for etching a metal or metal oxide without using a reagent, etc., the affects the environment, a method for smoothing a surface of a metal or metal oxide on an atomic level, and a method for patterning on an atomic level. Etching of a metal or metal oxide, or smoothing of a surface of a metal or metal oxide is possible using ozone water in which only ozone is dissolved. Patterning can also be performed by providing a metal that does not dissolve in the ozone water as a resist on a metal or metal oxide that can be etched by ozone water in which only ozone is dissolved, and etching using the ozone water.

  • 出願人(英語)
  • ※2012年7月以前掲載分については米国以外のすべての指定国
  • JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY
  • 発明者(英語)
  • YAMAMOTO TAKATOKI,
  • HATSUKI RYUJI
国際特許分類(IPC)
参考情報 (研究プロジェクト等) PRESTO Structures and control of interfaces AREA
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