TOP > 国内特許検索 > 時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法、その製造方法によって得られる微小突起物、その微小突起物を備える触媒用担体および接触搬送装置

時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法、その製造方法によって得られる微小突起物、その微小突起物を備える触媒用担体および接触搬送装置 新技術説明会

国内特許コード P06P003823
掲載日 2006年4月14日
出願番号 特願2004-247363
公開番号 特開2006-063390
登録番号 特許第4423419号
出願日 平成16年8月26日(2004.8.26)
公開日 平成18年3月9日(2006.3.9)
登録日 平成21年12月18日(2009.12.18)
発明者
  • 中佐 啓治郎
  • 王 栄光
  • 加藤 昌彦
  • 張 清廉
出願人
  • 学校法人広島大学
発明の名称 時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法、その製造方法によって得られる微小突起物、その微小突起物を備える触媒用担体および接触搬送装置 新技術説明会
発明の概要

【課題】簡単な方法で微小突起物を形成することが可能な時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法、その製造方法によって得られる微小突起物、その微小突起物を備える触媒用担体および接触搬送装置を提供する。
【解決手段】時効性金属材料を固溶化熱処理し、析出成分を素地中に溶解させる工程と、素地中に析出成分を含む化合物が析出しないように該金属材料を冷却しながら該金属材料の表面をスパッタエッチングし、該金属材料の該スパッタエッチング面上に析出成分を含む化合物の微小突起物を形成する工程とを含み、該スパッタエッチングはスパッタエッチングする該金属材料の表面近傍の温度が析出成分を含む化合物の析出温度域となるようにエッチングするとともに、該スパッタエッチング速度が該金属材料の析出成分を含む化合物の深さ方法の成長速度を超えない範囲でエッチングする。
【選択図】 図1

従来技術、競合技術の概要


周知のように織布、繊維製品、紙などの搬送には、非接触搬送手段として空気または水などの流体が、接触搬送手段としては各種トラクションローラが用いられている。搬送用のローラでは表面の摩擦力が重要であり、通常摩擦力の大きいゴムが用いられることが多い。しかしゴムローラでは、摩擦、変形による性能劣化が見られることや、液中では摩擦係数が小さいなどの問題がある。



これを解決する方法として、金属材料からなる円筒体の外周面に腐蝕溶液を用いたエッチングにより微細な突起を多数形成するグリップローラが提案されている(例えば特許文献1参照)。また金属材料にニッケル、銅などを用いて電鋳法により突起物を有する電鋳膜を形成し、この電鋳膜を回転部材に被せ着ける方法によりグリップローラを得る方法も提案されている(例えば特許文献2参照)。



また、微小な突起物はこれら接触搬送の手段としての利用以外にも、表面積が大きい特性を活かしたとえば触媒の担体として使用することも可能である。

【特許文献1】特開平6-127732号公報

【特許文献2】特開平11-35189号公報

産業上の利用分野


本発明は、時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法、その製造方法によって得られる微小突起物、その微小突起物を備える触媒用担体および接触搬送装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
時効性金属材料を固溶化熱処理し、析出成分を素地中に溶解させる工程と、
素地中に析出成分を含む化合物が析出しないように該金属材料を冷却しながら該金属材料の表面をスパッタエッチングし、該金属材料の該スパッタエッチング面上に析出成分を含む化合物の微小突起物を形成する工程とを含み、
該スパッタエッチングはスパッタエッチングする該金属材料の表面近傍の温度が析出成分を含む化合物の析出温度域となるようにエッチングするとともに、該スパッタエッチング速度が該金属材料の析出成分を含む化合物の深さ方法の成長速度を超えない範囲でエッチングすることを特徴とする時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法。

【請求項2】
前記析出成分を含む化合物は、炭化物または金属間化合物であることを特徴とする請求項1に記載の時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法。

【請求項3】
前記微小突起物の形状が略円錐の形状であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法。

【請求項4】
使用する時効性金属材料の材質、スパッタエッチング時の時効性金属材料の冷却温度、スパッタエッチング時間、スパッタエッチングの出力のうち少なくともいずれか1つを制御することにより、微小突起物の大きさ、形状または分布密度を制御することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法。

【請求項5】
請求項1から請求項4のいずれかに記載の方法により前記時効性金属材料の表面に前記微小突起物を形成した後、
前記微小突起物より硬い硬質体と前記微小突起物の突起の先端とを衝突させ、前記微小突起物の突起の先端部分を平坦にする工程をさらに含むことを特徴とする前記時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法。

【請求項6】
請求項1から請求項5のいずれかに記載の時効性金属材料表面への微小突起物の製造方法によって得られる微小突起物。

【請求項7】
請求項6に記載の微小突起物を備えることを特徴とする触媒用担体。

【請求項8】
請求項6に記載の微小突起物を備えることを特徴とする接触搬送装置。

【請求項9】
前記接触搬送装置は、マイクロマシン用歯車であることを特徴とする請求項8に記載の接触搬送装置。


産業区分
  • 表面処理
  • その他運輸
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2004247363thum.jpg
出願権利状態 権利存続中


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close