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極端紫外光源装置 UPDATE

国内特許コード P06P004375
整理番号 E-006
掲載日 2006年6月23日
出願番号 特願2004-342700
公開番号 特開2006-156577
登録番号 特許第4517147号
出願日 平成16年11月26日(2004.11.26)
公開日 平成18年6月15日(2006.6.15)
登録日 平成22年5月28日(2010.5.28)
発明者
  • 東口 武史
  • 窪寺 昌一
出願人
  • 国立大学法人 宮崎大学
発明の名称 極端紫外光源装置 UPDATE
発明の概要 【課題】 液体ターゲットが液体ターゲット回収筒に回収されずに真空容器内に飛散して真空容器内の真空度が低下するのを防止するとともに、前記液体ターゲットが液体ターゲット回収筒に付着してつらら形状の氷に成長するのを防止すること。

【解決手段】 プラズマ発光光源装置1のレーザ光照射位置A1を通過した液体ターゲットTが進入する液体ターゲット回収用の内側回収筒9と、前記内側回収筒9の外周面を囲むように配置された外側回収筒13とを有する液体ターゲット回収筒9,13と、前記液体ターゲット回収筒9,13回収ノズル加熱装置H1,H2と、前記内側回収筒9の内部R1の気体を排気する内側回収筒排気装置S1と、前記内側回収筒9の外側面と前記外側回収筒13の内側面との間の円筒状空間R2の気体を排気する円筒状空間排気装置S2とを備えた液体ターゲット回収装置K。
【選択図】 図3
従来技術、競合技術の概要


前記液体ターゲットをレーザ光照射領域に連続的または断続的に供給してプラズマ発光させて所定の波長の光を得るレーザ生成プラズマ方式による光源装置では、真空状態に保持されるプラズマ発光室内のレーザ光照射位置に液体ターゲットを吐出する液体ターゲット吐出ノズルと、前記液体ターゲット吐出ノズルに対向する位置に配置され且つ前記液体ターゲット吐出ノズルから吐出されて前記レーザ光照射位置を通過した液体ターゲットを回収する液体ターゲット回収筒とが使用される。



前記液体ターゲット回収筒は、前記液体ターゲット吐出ノズルに対向する位置に配置されており、液体ターゲット吐出ノズルから吐出された液体ターゲットは、前記レーザ光照射位置を通過してから前記液体ターゲット回収筒の先端から回収筒内部に進入し、回収される。
前記液体ターゲット回収筒内部は排気装置により真空に排気されており、その先端部は、通常直径数ミリから1cmのパイプまたは、真空度を維持するためのためのスキーマ(直径数100μmのアパーチャ)が設けられている。

産業上の利用分野


本発明は、液体ターゲットをレーザ光照射領域に連続的または断続的に供給してプラズマ発光させて所定の波長の光を得るレーザ生成プラズマ方式による光源装置および液体ターゲット回収装置に関する。
前記光源装置は、光リソグラフィ露光用光源として使用可能である。

特許請求の範囲 【請求項1】
下記の構成要件(A01)~(A06)を備えたプラズマ発光光源装置、
(A01)真空状態に保持されるプラズマ発光室、
(A02)前記真空プラズマ発光室内のレーザ光照射位置に液体ターゲットを吐出する液体ターゲット吐出ノズル、
(A03)前記液体ターゲット吐出ノズルに対向する位置に配置され且つ前記液体ターゲット吐出ノズルから吐出されて前記レーザ光照射位置を通過した液体ターゲットが進入する液体ターゲット回収用の内側回収筒と、前記内側回収筒の外周面を囲むように配置された外側回収筒とを有する液体ターゲット回収筒、
(A04)内側回収筒の先端部を加熱する内側回収筒加熱装置、
(A05)前記内側回収筒の内部の気体を排気する内側回収筒排気装置、
(A06)前記内側回収筒の外側面と前記外側回収筒の内側面との間の円筒状空間の気体を排気する円筒状空間排気装置。

【請求項2】
下記の構成要件(A07)を備えた請求項1記載のプラズマ発光光源装置
(A07)前記外側回収筒の先端部を加熱する外側回収筒加熱装置。

【請求項3】
下記の構成要件(A03)~(A06)を備えた液体ターゲット回収装置。
(A03)前記液体ターゲット吐出ノズルに対向する位置に配置され且つ前記液体ターゲット吐出ノズルから吐出されてレーザ光照射位置を通過した液体ターゲットが進入する液体ターゲット回収用の内側回収筒と、前記内側回収筒の外周面を囲むように配置された外側回収筒とを有する液体ターゲット回収筒、
(A04)内側回収筒の先端部を加熱する内側回収筒加熱装置、
(A05)前記内側回収筒の内部の気体を排気する内側回収筒排気装置、
(A06)前記内側回収筒の外側面と前記外側回収筒の内側面との間の円筒状空間の気体を排気する円筒状空間排気装置。

国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2004342700thum.jpg
出願権利状態 登録


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