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可変インダクタ 新技術説明会

国内特許コード P06P005097
整理番号 IP16-074
掲載日 2006年11月10日
出願番号 特願2005-121593
公開番号 特開2006-303120
登録番号 特許第4288353号
出願日 平成17年4月19日(2005.4.19)
公開日 平成18年11月2日(2006.11.2)
登録日 平成21年4月10日(2009.4.10)
発明者
  • 光野 正志
  • 木村 圭吾
  • 小林 春夫
出願人
  • 学校法人群馬大学
発明の名称 可変インダクタ 新技術説明会
発明の概要

【課題】 インダクタの形状を変えることなく、インダクタンス値を変化させることが可能である可変インダクタを提供する。
【解決手段】 複数の薄膜コイル2,3を備え、この複数の薄膜コイル2,3のうち、少なくとも1つの薄膜コイル3に対してアクチュエータ5が設けられ、このアクチュエータ5が、熱膨張によって曲がることにより薄膜コイル3を移動させる構成である可変インダクタ10を構成する。
【選択図】 図1

従来技術、競合技術の概要


従来は、電子回路の特性を可変にするためには、回路に含まれる能動素子の特性或いは受動素子の特性値(抵抗値や容量値等)を変化させていた。



能動素子については、能動素子に印加されるバイアス電圧を変化させることにより、その能動素子の特性を変化させることができる。
また、受動素子については、例えばMOSFETのオン抵抗を利用することによって可変抵抗素子を容易に実現することができ、PN接合を利用することによって可変容量素子を容易に実現することができる。



しかし、受動素子としてのインダクタについて、良好な特性を維持しつつ、インダクタンスを可変とすることは困難とされている。



これに対して、能動素子を用いてインダクタを構成し、インダクタを可変とする方法もあるが、この構成では能動素子が使われていることから、雑音や歪の特性が悪いという問題がある。



また、相互結合係数を変化させるために、インダクタの形状を物理的に変化させる方法(例えば、特許文献1参照)があるが、構成する回路の小型化並びに低コスト化が難しくなる、という点で問題がある。



そこで、小型化や低コスト化、集積化が容易な可変インダクタとして、複数のコイルを設けて、分配器によって、それぞれのコイルに流れる電流の分配比を変更可能とした構成が提案されている(例えば、特許文献2参照。)。




【特許文献1】特開平7-320942号公報

【特許文献2】特開2004-165612号公報

産業上の利用分野


本発明は、インダクタンスを変化させることが可能な可変インダクタに係わる。

特許請求の範囲 【請求項1】
複数の薄膜コイルを備え、
前記複数の薄膜コイルのうち、少なくとも1つの薄膜コイルに対してアクチュエータが設けられ、
前記アクチュエータが、熱膨張によって曲がることにより、前記薄膜コイルの膜面に略垂直な方向に前記薄膜コイルを移動させて、前記薄膜コイルの膜面に略垂直な方向における前記複数の薄膜コイルの間隔を変化させる構成である
ことを特徴とする可変インダクタ。

【請求項2】
前記アクチュエータが、第1配線層と絶縁層と第2配線層とを積層した構造を有することを特徴とする請求項1に記載の可変インダクタ。

【請求項3】
スパイラル状のコイルが全体として矩形状に形成された薄膜コイルを複数備え、
前記複数の薄膜コイルのうち、少なくとも1つの薄膜コイルの四隅付近にそれぞれアクチュエータが設けられ、
前記アクチュエータが、固定された第1の櫛歯電極と、移動可能な第2の櫛歯電極とが互い違いに配置されて成り、前記第1の櫛歯電極と前記第2の櫛歯電極との間に電位差を印加することにより、前記第2の櫛歯電極が移動すると共に、前記薄膜コイルの膜面に略平行な方向に、前記薄膜コイルが移動する構成であり、
前記第1の櫛歯電極及び前記第2の櫛歯電極の長手方向が、矩形状の前記薄膜コイルの縦方向及び横方向に対して斜めに形成されている
ことを特徴とする可変インダクタ。
産業区分
  • 変電
  • 固体素子
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2005121593thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
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