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粗動微動位置決め装置 コモンズ 新技術説明会

国内特許コード P06A009467
掲載日 2006年11月17日
出願番号 特願2005-040478
公開番号 特開2006-226811
登録番号 特許第4825966号
出願日 平成17年2月17日(2005.2.17)
公開日 平成18年8月31日(2006.8.31)
登録日 平成23年9月22日(2011.9.22)
発明者
  • 森本 喜隆
出願人
  • 学校法人宇都宮大学
発明の名称 粗動微動位置決め装置 コモンズ 新技術説明会
発明の概要

【課題】 位置決め時間の短縮と同時に高精度な位置決めを可能にする粗動微動位置決め装置を提案する。
【解決手段】 ナットを介してテーブルに接続された送りねじと、入力軸と出力軸が同軸上に配置された減速機であって前記送りねじの一端に出力軸が接続された減速機と、該減速機の入力軸に接続された微動送り用のモータと、出力軸が貫通した中空であって該中空部に前記減速機のケーシング部を同軸上に嵌着保持した粗動送り用の中空モータとを備えたことを特徴とする。なお、前記減速機は波動歯車減速機とすることが好ましい。
【選択図】 図2

従来技術、競合技術の概要


半導体産業や工作機械やバイオケミカル産業を始めとする位置決め装置を動作機構に用いる産業では、ナノメートルの位置決め精度と位置決め時間の短縮が要求されている。しかし、位置決め精度を向上させると、位置決めを完了するまでの所要時間が長くなり、生産性の向上や、測定評価時間の短縮には悪影響を及ぼす。これを解決するために、本発明は、粗動による高速位置決めと微動による高精度位置決めを両立させた機構により、位置決め時間の短縮と同時に高精度な位置決めを実現することを目的とした。従来の位置決め機構としては、モータに減速機を取付けて単に分解能を上げただけの位置決め装置や、モータと圧電素子との組合せにより、モータを用いて粗動位置決めし、圧電素子を用いて微動位置決めする装置が市販されている。また、圧電素子を用いてテーブルの位置決めをする従来技術としては、特許文献1に記載の微動テーブル装置がある。

【特許文献1】特開2004-146718号公報

産業上の利用分野


本発明は、同軸上に2個のモータと減速機を配して、粗動および微動をしながら軸上の対象物を位置決めする粗動微動位置決め装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
ナットを介してテーブルに接続された送りねじと、
入力軸と出力軸が同軸に配置された減速機であって前記送りねじの一端に出力軸が接続された減速機と、
前記減速機の入力軸に接続された微動送り用のモータと、
出力軸が貫通した中空であって該中空部に前記減速機のケーシング部を同軸に嵌着保持するとともに前記微動送り用のモータと同時に駆動および制御される粗動送り用の中空モータと、
を備えたことを特徴とする粗動微動位置決め装置。

【請求項2】
請求項1に記載の粗動微動位置決め装置において、
前記減速機は波動歯車減速機であることを特徴とする粗動微動位置決め装置。
産業区分
  • 測定
  • 切削
  • 写真映画
  • 固体素子
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2005040478thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
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