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レーザ装置及び波長変換装置 コモンズ 実績あり

国内特許コード P06P005138
整理番号 NU-0116
掲載日 2007年3月2日
出願番号 特願2005-228571
公開番号 特開2007-048776
登録番号 特許第3870238号
出願日 平成17年8月5日(2005.8.5)
公開日 平成19年2月22日(2007.2.22)
登録日 平成18年10月27日(2006.10.27)
発明者
  • 松見 豊
  • 高橋 けんし
出願人
  • 学校法人名古屋大学
発明の名称 レーザ装置及び波長変換装置 コモンズ 実績あり
発明の概要


【課題】高効率に真空紫外領域のレーザを得ること。
【解決手段】クリプトンガスに第1のレーザを照射して、このクリプトンガスにおいて二光子共鳴中間励起を生起させると共に、第1のレーザとは波長の異なる第2のレーザをクリプトンガスに照射して、第1のレーザ及び第2のレーザの波長と異なる第3の波長を有した第3のレーザを発振させる四波混合レーザ発振方法を用いたレーザ装置である。この装置において、第1のレーザの照射によるクリプトンガスの二光子共鳴多光子イオン化によって生じるイオン電流を測定する電流測定装置と、電流測定装置の出力に基づいて、第1のレーザの波長を制御する波長制御装置とを設けた。
【選択図】図1

従来技術、競合技術の概要


従来、下記特許文献1、2及び非特許文献1に開示されているように、100~200nmの真空紫外領域のレーザを得るには、次の四波混合方式が知られている。可視光、紫外光のレーザなどの2つの異なる周波数ω1 、ω2 のレーザをクリプトン、キセノンなどの希ガスに照射して、希ガスの非線形効果により、周波数(2ω1 +ω2 )と、(2ω1 -ω2 )との2つの真空紫外領域の周波数のレーザを得るものである。

産業上の利用分野


本発明は、主として、真空紫外領域(約100nm~200nm)の波長を有したレーザ装置及びそのレーザ装置に用いられる波長変換装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
非線形媒質に第1のレーザを照射して、この非線形媒質において二光子共鳴中間励起を生起させると共に、前記第1のレーザとは波長の異なる第2のレーザを前記非線形媒質に照射して、前記第1のレーザ及び前記第2のレーザの波長と異なる第3の波長を有した第3のレーザを発振させる四波混合レーザ発振方法を用いたレーザ装置において、
前記第1のレーザの照射による前記非線形媒質の二光子共鳴多光子イオン化によって生じるイオン電流を測定する電流測定装置と、
前記電流測定装置の出力に基づいて、前記第1のレーザの波長を制御する波長制御装置と
を有することを特徴とするレーザ装置。

【請求項2】
前記波長制御装置は、前記電流測定装置が測定する前記イオン電流が最大となるように、前記第1のレーザの波長を制御することを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置。

【請求項3】
前記非線形媒質は、気体であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレーザ装置。

【請求項4】
前記非線形媒質を導入した金属ケースを有する波長変換装置を有し、
前記電流測定装置は、
前記波長変換装置の金属ケースを電極とした第1の電極と、
この金属ケース内に配置された第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極間に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器と
を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載のレーザ装置。

【請求項5】
非線形媒質に第1のレーザを照射して、この非線形媒質において二光子共鳴中間励起を生起させると共に、前記第1のレーザとは波長の異なる第2のレーザを前記非線形媒質に照射して、前記第1のレーザ及び前記第2のレーザの波長と異なる第3の波長を有した第3のレーザを発振させる四波混合レーザ発振方法を用いたレーザ装置における波長変換装置であって、
前記第1のレーザの照射による前記非線形媒質の二光子共鳴多光子イオン化によって生じるイオン電流を測定する電流測定装置を有することを特徴とする波長変換装置。

【請求項6】
前記非線形媒質を導入した金属ケースを有し、
前記電流測定装置は、
前記波長変換装置の金属ケースを電極とした第1の電極と、
この金属ケース内に配置された第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極間に流れる電流を電圧に変換する電流電圧変換器と
を有することを特徴とする請求項5に記載の波長変換装置。

【請求項7】
前記非線形媒質は、気体であることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の波長変換装置。
産業区分
  • 固体素子
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2005228571thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
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