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クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法

国内特許コード P07A009933
整理番号 NIRS-109.2
掲載日 2007年6月1日
出願番号 特願2000-009156
公開番号 特開2001-199542
登録番号 特許第3446824号
出願日 平成12年1月18日(2000.1.18)
公開日 平成13年7月24日(2001.7.24)
登録日 平成15年7月4日(2003.7.4)
発明者
  • 鈴木 和年
  • 吉田 兵吾
  • 伊藤 信夫
  • 佐藤 雅郎
出願人
  • 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
発明の名称 クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法
発明の概要 【課題】 クリーンルーム相互間で気送管を用いて気送搬送物を上昇受信器で受信するクリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法にを提供するにある。
【解決手段】 送信側クリーンルームから受信側クリーンルームに気送管が延長され気送管の中に気送搬送物を投入して受信側クリーンルームで気送搬送物を受信するクリーンルーム間の搬送システムであって、受信側クリーンルーム内に配設され気密を保持して気送搬送物を受信する上昇受信器と、上昇受信器の後の気送管に配設され気送搬送物の送信開始と受信の際に気送管の内部の空気を低風量で吸引する排風手段とを具備するようにしたものである
従来技術、競合技術の概要


従来のクリーンルーム相互間で気送管を用いて、容器、試薬ビンなどの気送搬送物を送受する構成は、病院とか半導体工場などで使用されるが、これは例えば図14に示すような上昇受信器を用いた方式が知られている。
このような場所で、高度なクリーン度を要求するクリーンルームは、このクリーンルーム内の空気の流れを整流して層流状態にすることが多く、この層流状態では、例えば0.5m/s程度の低風速で室内を空気が移動している。
図14はこのようなクリーンルームの例であり、送信側クリーンルーム10は高清浄度のクリーンルームであり、この送信側クリーンルーム10よりは清浄度の低い低清浄度のクリーンルーム11を立体的にも平面的にも送信側クリーンルーム10を囲むように配設して、送信側クリーンルーム10を高清浄度に保持している。
クリーンルーム11の一方の壁にはフイルタ11a、11b,11cが配設され、これらのフイルタ11a~11cには外部から空気Aを取り入れながら空調機12から配管13を介して清浄な空気が取り込まれる。
このクリーンルーム11を通過した空気は配管14を介して空調機12にリターンされるが、空調機12はこれを取り入れて再び配管13に送出する動作を繰り返して空気を循環して清浄にしている。
送信側クリーンルーム10は、送信側クリーンルーム10を通過した空気を配管15を介して空調機16に取り込み、これを清浄にした後、フイルタ17a、17b,17cを介して送信側クリーンルーム10に送出する動作を繰り返して空気を循環し、クリーンルーム11より高清浄度にしている。
送信側クリーンルーム10の内部には、気送管18がクリーンルーム11を経由して導入され、その端部には搬送物投入口19が設けられているが、この搬送物投入口19は気送管18に固定されたフランジ19aと、一端がピン19bで支持されて回動してフランジ19aを覆う回動蓋19cなどで構成されている。
気送管18の受信側クリーンルーム20側では、気送管18が垂直に立ち上がる垂直部18aを介して上昇受信器21に連結されており、この上昇受信器21を経由してから気送管18がU字状に屈曲して立ち下がり遠方に配設された排風機22に接続されている。
排風機22は、インバータ23に印加される制御信号S1により、ケーブル24を介してその空気の吸引風量が制御されているが、吸引された排気は排気管25から大気中に放出される。
受信側クリーンルーム20は、その一方の壁にはフイルタ26a、26b,26cが配設され、これらのフイルタ26a~26cには外部から空気Bを取り入れながら空調機27から配管28を介して清浄な空気を流し、内部が層流状態になるように取り込まれる。
受信側クリーンルーム20を通過した空気は、配管29を介して空調機27にリターンされるが、空調機27はこれを取り入れて再び配管28に送出する動作を繰り返して空気を循環している。
受信側クリーンルーム20内に配設される上昇受信器21は、図15(A)に示す受信時の状態では、大きく分けて、本体部21A、この本体部21A内を往復動する可動体21B、この可動体21Bを往復動させる駆動源、例えばエアシリンダ21C、及び収納箱21Dなどから構成されている。
本体部21Aは、例えば矩形状をなし、この本体部21Aの横方向に中心軸A-Bを中心として筒部21Eが形成されており、その右方の下端部には本体部21Aの中心軸A-Bに対して直角方向に筒部21Eを貫通して気送管18が配設されている。
また、本体部21Aの排出側の気送管18の出口部分は、空気吸引口21Fとして、気送搬送物30の底面と密着させて排出側の気送管18内に生じる真空圧で吸引できる形状になっている。
図15(A)に示す受信時の状態では、この筒部21Eの右端側を埋めるように円柱状の可動体21Bが配設され、可動体21Bには気送搬送物30が格納できる格納孔21Gが気送管18と同一方向から穿設されており、空気吸引口21Fと格納孔21Gと気送管18とは一直線上にある。
さらに、本体部21Aの開放端側には中央部に貫通孔21Hを有する閉塞板21Iが配設されており、この閉塞板21Iの外部に配設されたエアシリンダ21Cと可動体21Bとを連結する連結軸21Jが貫通孔21Hを貫通して左右に往復動を行う。
本体部21Aの筒部21Eの開放端側にある底部には、図15(B)の排出時の状態に示すように、可動体21Bがエアシリンダ21C側に退行したときに、格納孔21Gと対向する位置に排出口21Kが穿設され、この下に収納箱21Dが配設されている。
以上の構成により、送信側クリーンルーム10から受信側クリーンルーム20に気送管18を介して気送搬送物30を搬送する場合には、回動蓋19cをピン19bを支点として回動してフランジ19aから横にずらして気送管18の搬送物投入口19を開口して、気送搬送物30を投入し、排風機22を動作させて、搬送物投入口19から送信側クリーンルーム10内の空気を吸引して気送搬送物30を搬送する。
気送搬送物30は、排風機22による吸引により上昇受信器21に搬送され、上昇受信器21内の可動体21Bがシリンダ21Cにより右端に押圧された状態で、上昇受信器21の格納孔21Gに格納される。
上昇受信器21の格納孔21Gに気送搬送物30が格納された状態では、排風機22が本体部21Aの空気吸引口21Fを吸引しているので、気送搬送物30は落下することなく、格納孔21Gの中に保持されている。
気送搬送物30が保持された状態で、可動体21Bの格納孔21Gが排出口21Kの位置まで左動すると、気送搬送物30は排出口21Kを通じて収納箱21D上に落下し、回収される。

産業上の利用分野


本発明は、クリーンルーム相互間で気送管を用いて気送搬送物を上昇受信器で受信するクリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法に係り、特にクリーンルーム内の空気を乱すことなく、安定で安全に気送搬送物を搬送するように改良された搬送システム及びその搬送方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
送信側クリーンルームから受信側クリーンルームに気送管が延長され該気送管の中に気送搬送物を投入して前記受信側クリーンルームで該気送搬送物を受信するクリーンルーム間の搬送システムであって、
前記受信側クリーンルーム内に配設され気密を保持して前記気送搬送物を受信する上昇受信器と、
該上昇受信器の後の前記気送管に配設され前記気送搬送物の送信開始の際に前記気送管の内部の空気を低風量で吸引する排風手段とを具備することを特徴とするクリーンルーム間の搬送システム。

【請求項2】
前記送信側クリーンルームの外部に配設され前記気送管に設けられた空気取入口を具備する請求項1に記載のクリーンルーム間の搬送システム。

【請求項3】
前記空気取入口は、前記送信側クリーンルームより清浄度の低いクリーンルームに配設された請求項2に記載のクリーンルーム間の搬送システム。

【請求項4】
前記気密は、
本体部とこの中を移動し前記気送搬送物を格納する可動体との間に設けられたシール部により行う請求項1に記載のクリーンルーム間の搬送システム。

【請求項5】
送信側クリーンルームから受信側クリーンルームに気送管が延長され該気送管の中に気送搬送物を投入して前記受信側クリーンルームで該気送搬送物を受信するクリーンルーム間の搬送システムであって、
前記気送搬送物を受信するときに本体部の内部と該本体部の中を移動する可動体とが当接するように互いに円錐面を形成してシールし、
前記可動体と前記本体部との気密を保持して前記気送搬送物を前記可動体に格納する上昇受信器を具備することを特徴とするクリーンルーム間の搬送システム。

【請求項6】
前記本体部に形成された空気吸引口のサイズは、
前記気送搬送物が移動されて前記気送管の中に落下しない位置まで吸着可能な大きさに選定された請求項5に記載のクリーンルーム間の搬送システム。

【請求項7】
前記上昇受信器は、
気送搬送物が格納できる可動体と連動して歩進するカセッテを有し、前記気送搬送物を受信する毎に前記カセッテに前記気送搬送物を順次に位置を変えて収納する請求項5に記載のクリーンルーム間の搬送システム。

【請求項8】
前記カセッテの歩進は、
前記可動体の1往復動に対して1歩進する位置決定プレートを介して行われる請求項に記載のクリーンルーム間の搬送システム。

【請求項9】
送信側クリーンルームから気送搬送物を送出するときは気送管の内部の空気を排風手段により低風量で吸引してから、
搬送物投入口を開口して前記気送搬送物を前記気送管に投入し、
この後、前記搬送物投入口を閉塞して前記送信側クリーンルームの外部に配設された前記気送管の空気取入口から前記排風手段により高風量で前記気送管を介して空気を吸引して前記気送搬送物を受信側クリーンルームに搬送し、
前記気送搬送物を上昇受信器で受信した後、
一定時間の経過後に前記吸引を停止して前記気送搬送物を取り出すことを特徴とするクリーンルーム間の搬送方法。

【請求項10】
前記空気取入口は、前記送信側クリーンルームより清浄度の低いクリーンルーム内の気送管に設けられた請求項に記載のクリーンルーム間の搬送方法。

【請求項11】
前記一定時間は、
前記気送搬送物を受信後に前記気送搬送物が可動体により前記気送管の中に落下しなくなる位置まで移動する時間とする請求項に記載のクリーンルーム間の搬送方法。
国際特許分類(IPC)
画像

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出願権利状態 登録
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