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立体原子顕微鏡、原子配列の立体観察方法、及び原子配列の立体写真測定方法 外国出願あり

国内特許コード P07A010469
整理番号 P04-46
掲載日 2007年9月14日
出願番号 特願2001-233651
公開番号 特開2002-139466
登録番号 特許第3905338号
出願日 平成13年8月1日(2001.8.1)
公開日 平成14年5月17日(2002.5.17)
登録日 平成19年1月19日(2007.1.19)
優先権データ
  • 特願2000-238452 (2000.8.7) JP
発明者
  • 大門 寛
出願人
  • 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学
発明の名称 立体原子顕微鏡、原子配列の立体観察方法、及び原子配列の立体写真測定方法 外国出願あり
従来技術、競合技術の概要
従来より、原子構造を直接立体的に観察することが求められており、顕微鏡は原子構造の立体的観察を究極的な目的としている。現在、種々の顕微鏡が提案されているが、立体像を得ることができる顕微鏡は未だ提供されていない。例えば、電子顕微鏡は、原子配列の投影像を得ることができるが、立体像を得ることはできない。また、走査トンネル顕微鏡(STM)は試料表面の原子配列の凹凸像を得ることができるが、表面原子と下層にある原子の位置関係を得ることはできない。
産業上の利用分野
本発明は、原子配列の観察に関し、原子構造を立体的に観察する立体原子顕微鏡、及び立体観察方法、立体写真の測定方法に関する。
特許請求の範囲 【請求項1】 回転方向が異なる2つの円偏光を試料に照射する円偏光照射手段と、
照射された円偏光によって生じる円2色性の光電子前方散乱ピークで形成される形成方向を異にする光電子回折パターンを二次元的に検出する二次元光電子検出手段と、
前記両光電子回折パターンを左右の視差角の原子配列画像として形成する像形成手段とを備えることを特徴とする立体電子顕微鏡。
【請求項2】回転方向が異なる2つの円偏光を試料に照射し、
該円偏光照射によって生じる円2色性の光電子前方散乱ピークによって、形成方向を異にする2つの光電子回折パターンを形成し、
該両光電子回折パターンを左右の視差角の原子配列画像とすることを特徴とする原子配列の立体観察方法。
【請求項3】回転方向が異なる2つの円偏光を試料に照射し、
該円偏光照射によって生じる円2色性の光電子前方散乱ピークによって、形成方向を異にする2つの光電子回折パターンを形成し、
該両光電子回折パターンの画像を左右の視差角に対応する写真像として測定することを特徴とする原子配列の立体写真測定方法。
産業区分
  • 試験、検査
  • 写真映画
  • 光学装置
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 権利存続中
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