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電子顕微鏡

国内特許コード P07A010470
整理番号 P04-47
掲載日 2007年9月14日
出願番号 特願2002-007387
公開番号 特開2003-208866
登録番号 特許第3791839号
出願日 平成14年1月16日(2002.1.16)
公開日 平成15年7月25日(2003.7.25)
登録日 平成18年4月14日(2006.4.14)
発明者
  • 大門 寛
出願人
  • 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学
発明の名称 電子顕微鏡
従来技術、競合技術の概要
電子顕微鏡として、透過電子顕微鏡(TEM)や走査電子顕微鏡(SEM)が一般的であるが、見ている原子の種類がわからなかったり、原子の立体配列がわからないという欠点がある。原子の種類が識別できる顕微鏡として、従来より低速電子顕微鏡(LEEM)や光電子顕微鏡(PEEM)が知られている。これらの電子を用いた顕微鏡では、試料に電子や光を照射することによって放出される電子を加速したり収束することによって顕微鏡像を形成する。これらの電子顕微鏡の分解能は10nm程度が限界であり、原子配列を測定するまでの高倍率とすることはできないという問題がある。
【0003】
また、原子の立体配列を立体写真によって観察するものとして二次元表示型分析器を用いた立体原子顕微鏡が知られている。この立体原子顕微鏡は倍率が高すぎるため低倍率の情報を得ることができず、試料のどの部分を観察しているかの把握が難しいという問題がある。
産業上の利用分野
本発明は、電子顕微鏡に関する。
特許請求の範囲 【請求項1】 入射側アパーチャから入射した電子像を二次元的にエネルギー選別し、出射側アパーチャから出射する二次元表示型球面鏡分析器と、
前記二次元表示型球面鏡分析器の入射側アパーチャの前方に設けたレンズ系と、
前記二次元表示型球面鏡分析器の出射側アパーチャの後方位置に配置したスクリーンとを備え、
前記レンズ系は、
当該レンズ系が備える各レンズの強度及び/又は比率の切り替えによって、
当該レンズ系に入射した電子像を用いて行う、試料から出た電子の角度分布を表す回折像の形成と、拡大した顕微鏡像の形成との切り替えを行うと共に、
当該レンズ系に入射した電子像を、二次元表示型球面鏡分析器の入射側アパーチャの位置で絞った後、当該二次元表示型球面鏡分析器内に入射させ、
当該二次元表示型球面鏡分析器内で二次元的にエネルギー選別した電子像を、二次元表示型分析器の出射側アパーチャの位置で再度絞った後、当該出射側アパーチャから出射した電子像をスクリーン上に結像させることを特徴とする、電子顕微鏡。
【請求項2】 前記レンズ系は電界レンズ又は磁界レンズであり、電界又は磁界に印加する電圧値及び/又は比率を調整することによって、回折像と顕微鏡像の切り替えを行うことを特徴とする、請求項1に記載の電子顕微鏡。
産業区分
  • 電子管
  • 試験、検査
国際特許分類(IPC)
Fターム
出願権利状態 権利存続中
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