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オージェー光電子コインシデンス分光器、及びオージェー光電子コインシデンス分光法

国内特許コード P07A011911
整理番号 173
掲載日 2007年11月30日
出願番号 特願2003-314462
公開番号 特開2005-085540
登録番号 特許第3968436号
出願日 平成15年9月5日(2003.9.5)
公開日 平成17年3月31日(2005.3.31)
登録日 平成19年6月15日(2007.6.15)
発明者
  • 間瀬 一彦
  • 小林 英一
  • 小林 芳治
  • 寺嶋 眞一
出願人
  • 高エネルギー加速器研究機構
発明の名称 オージェー光電子コインシデンス分光器、及びオージェー光電子コインシデンス分光法
従来技術、競合技術の概要 【背景技術】オージェー光電子コインシデンス分光器としては、一般に2個の電子エネルギー分析器を組み合わせて製作する。例えば、(1)2個の同心半球型分析器(H.W.Haak et al., Rev. Sci. Instrum. 55(1984)696)や(2)2個のバブルパス円筒鏡分析器(E.Jensen et al., Rev. Sci. Instrum. 63(1992)3013)、あるいは(3)2個の127°共軸円筒分析器(S.Thurgate et al., Rev. Sci. Instrum.61(1990)3733)を組み合わせたものが提案されていた。しかしながら、上述した(1)~(3)の分析器では立体角が小さいために、オージェー光電子コインシデンスシグナルの検出効率が低いという問題がある。また、2個の分析器の位置調整が難しいという問題がある。さらに専用の超高真空槽が必要であり、これら分析器の製作コストが高いため、オージェー光電子コインシデンス分光器全体としてコスト高となる問題がある。
産業上の利用分野 本発明は、オージェー光電子コインシデンス分光器、及びオージェー光電子コインシデンス分光法に関する。
特許請求の範囲 【請求項1】 円筒形状の第1の内電極、この第1の内電極と同心円状に配置された第1の外電極、並びに前記第1の内電極及び前記第1の外電極の後方において、これら電極の中心軸上に配置された電子検出器を含む同軸対称鏡電子エネルギー分析器と、 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器の、前記内電極内に配置され、円筒形状の第2の内電極、この第2の内電極と同心円状に配置された第2の外電極、並びに前記第2の内電極及び前記第2の外電極の後方に配置された電子増倍管を含むミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器と、を具えることを特徴とする、オージェー光電子コインシデンス分光器。
【請求項2】 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器と前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器とは同軸上に配置したことを特徴とする、請求項1に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
【請求項3】 ナイフエッジ型メタルシールフランジを具え、前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器及び前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器は、前記ナイフエッジ型メタルシールフランジ上で一体的に組み立てられたことを特徴とする、請求項2に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
【請求項4】 前記第1の内電極はメッシュ状であることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
【請求項5】 前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の外径が26mm以下であることを特徴とする、請求項1~4のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
【請求項6】 前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の立体角が0.72sr以上であることを特徴とする、請求項1~5のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
【請求項7】 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器は、前記第1の内電極及び前記第1の外電極の少なくとも一方の端部において、前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器内に計測すべき光電子を効率的に導入するとともに、前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器内に計測すべきオージェ電子を効率的に導入するための安定な電場を形成するための、補助電極を含むことを特徴とする、請求項1~6のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
【請求項8】 xyz位置調整機構を具えることを特徴とする、請求項1~7のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
【請求項9】 ティルト調整機構を具えることを特徴とする、請求項1~8のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
【請求項10】 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器は光電子を検出し、前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器はオージェ電子を検出することを特徴とする、請求項1~9のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
【請求項11】 オージェー光電子コインシデンスシグナルを生成するためのマルチチャンネルスケーラーを具えることを特徴とする、請求項10に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
【請求項12】 円筒形状の第1の内電極、この第1の内電極と同心円状に配置された第1の外電極、並びに前記第1の内電極及び前記第1の外電極の後方において、これら電極の中心軸上に配置された電子検出器を含む同軸対称鏡電子エネルギー分析器を準備する工程と、 円筒形状の第2の内電極、この第2の内電極と同心円状に配置された第2の外電極、並びに前記第2の内電極及び前記第2の外電極の後方に配置された電子増倍管を含むミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器を、前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器の、前記内電極内に配置する工程と、 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器及び前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の前方に設けられた試料に対して放射光を入射させ、得られた光電子を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られたオージェ電子を前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器で検出する工程と、を具えることを特徴とする、オージェー光電子コインシデンス分光法。
【請求項13】 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器と前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器とは同軸上に配置することを特徴とする、請求項12に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
【請求項14】 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器及び前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器は、ナイフエッジ型メタルシールフランジ上で一体的に組み立てられることを特徴とする、請求項13に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
【請求項15】 前記第1の内電極はメッシュ状とすることを特徴とする、請求項12~14のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
【請求項16】 前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の外径が26mm以下であることを特徴とする、請求項12~15のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
【請求項17】 前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の立体角が0.72sr以上であることを特徴とする、請求項12~16のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
【請求項18】 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器は、前記第1の内電極及び前記第1の外電極の少なくとも一方の端部において、前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器内に計測すべき光電子を効率的に導入するとともに、前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器内に計測すべきオージェ電子を効率的に導入するための安定な電場を形成するための、補助電極を含むことを特徴とする、請求項12~17のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
【請求項19】 マルチチャンネルスケーラーを準備し、前記マルチチャンネルスケーラーのトリガー側に前記光電子のシグナルを導入し、前記マルチチャンネルスケーラーの入力側に前記オージェ電子のシグナルを導入して、前記オージェ電子シグナルを前記光電子シグナルでトリガーし、得られたオージェー光電子コインシデンスシグナルを検出することを特徴とする、請求項12~18のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
【請求項20】 前記マルチチャンネルスケーラーに対して、前記オージェ電子シグナルを前記光電子シグナルよりも所定時間遅延させて入力することを特徴とする、請求項19に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
【請求項21】 前記オージェー光電子コインシデンスシグナルは、前記光電子と前記オージェ電子との飛行時間差をパラメータとして検出することを特徴とする、請求項19又は20に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
産業区分
  • 電子管
  • 試験、検査
国際特許分類(IPC)
Fターム
出願権利状態 権利存続中
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