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磁性金属内包カーボンナノチューブ素子

国内特許コード P07P005906
掲載日 2007年12月21日
出願番号 特願2006-107470
公開番号 特開2007-277061
登録番号 特許第4892723号
出願日 平成18年4月10日(2006.4.10)
公開日 平成19年10月25日(2007.10.25)
登録日 平成24年1月6日(2012.1.6)
発明者
  • 林 靖彦
  • 徳永 知春
  • 藤田 武志
出願人
  • 国立大学法人 名古屋工業大学
発明の名称 磁性金属内包カーボンナノチューブ素子
発明の概要

【課題】磁性金属をチューブ内に完全に充填もしくは、チューブ先端に内包するナノチューブを作製し、磁性特性の評価を行い、本素子を用いた磁気センサーなどへ応用する。
【解決手段】一種類以上の磁性金属を含む金属を内包もしくは充填するために、基板に内包もしくは充填する金属薄膜を積層する。金属を内包もしくは充填する金属を積層した基板を用いてナノチューブを成長することで,成長と同時にこれらの金属内包もしくは充填する。成長条件を制御することで,チューブ内の金属を分離して内包もしくは充填することができる。
【選択図】 図1

従来技術、競合技術の概要


従来、特許文献1のカーボンナノチューブの製造方法が開示されている。特許文献1は、金属を内包するカーボンナノチューブの製造方法に関する特許であり、磁気抵抗効果(以下「TMR」という。)を利用した磁気ランダムアクセスメモリ(以下「MRAM」という。)の応用が示されているが,内包された金属の磁性特性が明らかにされていなかった。また、特許文献2においては、内包もしくは充填する金属が一種類であった。非特許文献1は、2層金属内包に関する論文であり、非特許文献2、3は、Fe内包カーボンナノチューブの電子線ホログラフィーに関する論文である。

【特許文献1】特開平6-227806号公報

【特許文献1】特開2005-104814公報

【非特許文献1】“Production and Characterization of Single-Crystal FeCo Nanowires Inside Carbon Nanotubes”, A. L. Elias, J. A. Rodriguez-Manzo, M. R. McCartney, D. Golberg, A. Zamudio, S. E. Baltazar, F. Lopez-Urias, E. Munoz-Sandoval, L. Gu, C. C. Tang, D. J. Smith, Y. Bando, H. Terrones, and M. Terrones, Nano Lett. 5, 467 - 472 (2005).

【非特許文献2】“Magnetic properties of aligned Fe-filled carbon nanotubes”, T. Muhl, D. Elefant, A. Graff, R. Kozhuharova, A. Leonhardt, I. Monch, M. Ritschel, P. Simon, S. Groudeva-Zotova, and C. M. Schneider, J. Appl. Phys. 93, 7894-7896 (2003).

【非特許文献3】“Synthesis and properties of filled carbon nanotubes”, A. Leonhardt, M. Ritschel, R. Kozhuharova, A. Graff, T. Muhl, R. Huhle, I. Monch, D. Elefant and C. M. Schneider, Diamond Relat. Mater. 12, 790-793 (2003).

産業上の利用分野


本発明は、強磁性金属充填カーボンナノチューブ素子及びそれを用いたデバイスに関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
層カーボンナノチューブにニ種類以上の金属が内包もしくは充填され、該金属が磁性金属および非磁性金属からなり、磁性金属と非磁性金属とが分離されて内包もしくは充填されていることを特徴とするカーボンナノチューブ素子。

【請求項2】
前記磁性金属と非磁性金属がバーコード状に配置されたバーコードタイプの請求項1に記載のカーボンナノチューブ素子。

【請求項3】
磁気抵抗効果を利用した磁気ランダムアクセスメモリデバイスに用いられる請求項1または2に記載のカーボンナノチューブ素子。

【請求項4】
磁気力顕微鏡(MFM)探針に用いられる請求項1または2に記載のカーボンナノチューブ素子。

【請求項5】
磁気センサーに用いられる請求項1または2に記載のカーボンナノチューブ素子。
産業区分
  • 無機化合物
  • その他機械要素
  • 固体素子
  • 測定
  • 試験、検査
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2006107470thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
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