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鏡面溝形成方法 コモンズ 新技術説明会

国内特許コード P07A012490
整理番号 ID5145
掲載日 2007年12月28日
出願番号 特願2006-051967
公開番号 特開2007-230798
登録番号 特許第4378482号
出願日 平成18年2月28日(2006.2.28)
公開日 平成19年9月13日(2007.9.13)
登録日 平成21年10月2日(2009.10.2)
発明者
  • 池野 順一
出願人
  • 埼玉大学
発明の名称 鏡面溝形成方法 コモンズ 新技術説明会
発明の概要 【課題】微細な鏡面溝を手軽に形成することができる鏡面溝形成方法を提供する。
【解決手段】本発明の鏡面溝形成方法では、結晶化ガラス20にレーザ18を照射して照射箇所の結晶化ガラス20を非晶質に変質させ、非晶質化した部分22を剥離させて溝21を形成する。この方法では、結晶化ガラス20に変態応力と熱応力とが作用して非晶質化した部分22が剥離し、溝21が形成される。この方法は、大掛かりな装置を必要とせずに実施することができ、各種のマイクロ化学チップを短時間で、かつ、安価に製造することができる。
【選択図】図3
従来技術、競合技術の概要 【背景技術】近年、ガラス板上に微細な溝を形成したマイクロ化学チップが、生体の分析や化学分析に多用されている。 図11は、マイクロ化学チップの一例を示している。マイクロ化学チップは、ガラス板上に幅数十~数百μm、深さ数十μmの溝を形成し、その上に平坦なガラス板を重ねて、そのガラス板に溝への導入口を形成したものであり、流路となる微細な溝に血液や試薬などを流し、その流路内で混合、反応、分離、検出などが行われる。この溝は、液体を流す都合上、鏡面であることが求められており、現在、半導体加工技術を利用してエッチングなどによって溝が作成されている(非特許文献1)。
【非特許文献1】http://www.nsg.co.jp/products/bio/microchip/chip/products.html「日本板硝子 製品案内」
産業上の利用分野 本発明は、ガラス上に微細な鏡面の溝を形成する方法と、その方法を用いて製造したマイクロ化学チップ等の装置に関し、特に、レーザを用いて鏡面溝を形成できるようにしたものである。
特許請求の範囲 【請求項1】 結晶化ガラスの溝形成位置にレーザ光を走査しながら照射して照射箇所の結晶化ガラスを非晶質に変質させ、非晶質化した部分を剥離させて溝を形成することを特徴とする鏡面溝形成方法。
【請求項2】 請求項1に記載の鏡面溝形成方法であって、前記結晶化ガラスを常温より低い温度に冷却して前記レーザを照射することを特徴とする鏡面溝形成方法。
【請求項3】 請求項1または2に記載の鏡面溝形成方法であって、前記結晶化ガラスとしてLi2O-Al2O3-SiO2系低膨張結晶化ガラスを使用することを特徴とする鏡面溝形成方法。
産業区分
  • 窯業
  • 加工
国際特許分類(IPC)
Fターム
出願権利状態 権利存続中
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