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ワイヤソー作製方法およびワイヤソー作製装置

国内特許コード P07A012837
整理番号 PA16-049
掲載日 2008年1月18日
出願番号 特願2004-303501
公開番号 特開2006-110703
登録番号 特許第4378260号
出願日 平成16年10月18日(2004.10.18)
公開日 平成18年4月27日(2006.4.27)
登録日 平成21年9月18日(2009.9.18)
発明者
  • 石川 憲一
  • 諏訪部 仁
出願人
  • 金沢工業大学
発明の名称 ワイヤソー作製方法およびワイヤソー作製装置
発明の概要 【課題】 ワイヤソー切断装置に使用されるワイヤソーを高速に作製する。
【解決手段】 混合液供給槽20は、アノードを内部に収容し、アノードのメッキ液中に砥粒を分散させた混合液を一時貯留する。混合液供給槽20内の混合液は、供給槽20に付設された中空管24内に流入する。ワイヤ巻き取り装置は、中空管24内に挿通されたワイヤ42を走行させる。通電手段は、アノードとワイヤの間を通電する。これによって、中空管24内においてワイヤ42の表面にメッキが析出し、ワイヤ表面に砥粒が電着される。
【選択図】 図3
従来技術、競合技術の概要 【背景技術】電子素子材料として用いられるセラミックスやシリコンなどの硬質脆性材料に対する加工法の一つとして、ワイヤソー切断装置が知られている。ワイヤソー切断装置は、多数本のワイヤをワークに押しつけ、砥粒を固着したワイヤを往復動させるかまたは砥粒を供給して、研磨加工によりワークを一度に多数枚の加工物に切断する装置である。ワイヤソー切断装置は、ワークの切り代が少ないためワークを切断して得られる加工物の収率が大きく、また多数本のワイヤで一度にワークを切断するので生産性が高く、さらに、大口径のウェーハを高能率で加工できるといった長所を有している。そのため、シリコンインゴットの大径化に対応して、シリコンインゴットから半導体用ウェーハを切り出す装置として注目されている(例えば、特許文献1を参照)。ワイヤソー切断装置で用いられるワイヤソーとして、ピアノ線などのワイヤ芯材表面にダイヤモンド砥粒を固着させた固定砥粒ワイヤが知られている。固定砥粒ワイヤには、砥粒を樹脂でワイヤ表面に固着させる樹脂コーティング方式と、ニッケルメッキ等を用いて砥粒をワイヤ表面に固着させる電着方式とがある。例えば、特許文献2には、合成樹脂と砥粒とを電着塗装法によりワイヤ芯材に付着させたのち、加熱処理して合成樹脂により砥粒を固着し、ワイヤ芯材の表面に砥粒層を形成するワイヤソーの作製方法が開示されている。
【特許文献1】特開平8-126953号公報
【特許文献2】特開平11-245154号公報
産業上の利用分野 この発明は、ワイヤソー切断装置で使用されるワイヤソーの作製方法および作製装置に関する。
特許請求の範囲 【請求項1】 メッキ液中に砥粒を分散させた混合液を撹拌し、混合液を一方向に流出させる空間を設け、この空間内で混合液の流出方向と同じ方向にワイヤを走行させ、ワイヤとアノードの間を通電することによってワイヤ表面に砥粒を電着させることを特徴とするワイヤソー作製方法。
【請求項2】 前記空間内を流れる混合液と前記ワイヤとの間の相対速度を実質的に小さく設定したことを特徴とする請求項1に記載のワイヤソー作製方法。
【請求項3】 メッキ液中に砥粒を分散させた混合液を貯留する混合液供給手段と、 所定の長さにわたってワイヤの周囲を囲むように設けられ、前記混合液供給手段から導かれた混合液を一方向に流出させる中空管と、 前記中空間内の混合液中に浸漬した状態で、混合液の流出方向と同じ方向にワイヤを走行させるワイヤ走行手段と、 前記中空管を介してアノードと前記ワイヤの間を通電して、前記導入手段において前記ワイヤに砥粒を電着させる通電手段と、 を備え、 前記中空管内を流れる混合液と前記ワイヤの間の相対速度を実質的に小さく設定したことを特徴とするワイヤソー作製装置。
【請求項4】 アノードを内部に収容するとともに、メッキ液中に砥粒を分散させた混合液を貯留する混合液供給槽と、 前記混合液供給手段から前記混合液を一方向に流出させる中空管と、 前記中空管内で混合液の流出方向と同じ方向にワイヤを走行させるワイヤ走行手段と、 前記アノードと前記ワイヤの間を通電して、前記中空管の内部で前記ワイヤ表面に砥粒を電着させる通電手段と、 前記中空管から流出した混合液を回収し撹拌する混合液撹拌槽と、 前記混合液撹拌槽から混合液を前記混合液供給槽に戻す循環手段と、 を備えることを特徴とするワイヤソー作製装置。
【請求項5】 前記混合液撹拌槽は砥粒の流出を防止しつつメッキ液の流出入が自在である構成を有し、メッキ液を満たしたメッキ槽内に配置されていることを特徴とする請求項4に記載のワイヤソー作製装置。
産業区分
  • 切削
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 権利存続中
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