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微小移動体装置およびその製造方法 外国出願あり

国内特許コード P07P005046
整理番号 TDU-122
掲載日 2008年3月28日
出願番号 特願2006-236631
公開番号 特開2008-057470
登録番号 特許第4753815号
出願日 平成18年8月31日(2006.8.31)
公開日 平成20年3月13日(2008.3.13)
登録日 平成23年6月3日(2011.6.3)
発明者
  • 辻 裕一
  • 伊藤 来
  • 龍崎 晋
出願人
  • 学校法人東京電機大学
発明の名称 微小移動体装置およびその製造方法 外国出願あり
発明の概要

【課題】熱変形素子が発生する衝撃力に依らず、かつ、駆動力が非接触で提供されて移動することができる移動体装置を提供する
【解決手段】本発明の一の実施形態による移動体装置は、少なくとも第1の弾性層20と第2の弾性層21とから構成され、湾曲し、凹面側が載置面に面して載置される湾曲部材2と、この湾曲部材2にレーザ光Lを照射する光源3と、を備える。
【選択図】図1

従来技術、競合技術の概要


熱変形素子の熱変形に伴う衝撃力を利用した微小移動装置が知られている(特許文献1)。この文献に記載される微小移動装置は、所定の摺動面に載置される移動体と、この移動体の端面に取り付けられ熱変形により伸縮する熱変形素子と、この熱変形素子の端面に取り付けられ上記の摺動面から離間した慣性体(重り)とから構成される。熱変形素子が加熱されると、熱変形素子が急激に変形し、その変形に伴う衝撃力が移動体に作用する。移動体は、摺動面に対して摺動可能であるため、衝撃力により移動することができる。ここで、熱変形素子は、たとえば、レーザ光やマイクロ波により加熱可能であり、移動体を駆動する駆動力が非接触で提供されるという利点がある。

【特許文献1】特開平6-17747号公報

産業上の利用分野


本発明は、光の照射により生じる熱を利用して動作する微小移動体装置に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
少なくとも第1の弾性層と第2の弾性層とから構成され、湾曲し、凹面側が載置面に面して載置される湾曲部材と、
前記湾曲部材に光を照射する光源と、
を備える微小移動体装置。

【請求項2】
前記湾曲部材が、前記湾曲部材に設けられ、前記第1の弾性層および前記第2の弾性層から構成され、先端部が前記載置面に接する分枝部を有する、請求項1に記載の微小移動体装置。

【請求項3】
前記第1の弾性層がフォトレジストであり、前記第2の弾性層が金属である、請求項1又は2に記載の微小移動体装置。

【請求項4】
前記金属がアルミニウムである、請求項3に記載の微小移動体装置。

【請求項5】
前記フォトレジストが、0.02~5GPaの硬さと、0.7~170GPaのヤング率とを有する、請求項4に記載の微小移動体装置。

【請求項6】
前記光源がレーザダイオードを含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の微小移動体装置。

【請求項7】
前記光源が、前記湾曲部材に照射される光の強度を変調する変調器を更に含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の微小移動体装置。

【請求項8】
基板表面にフォトレジスト層を形成し、
前記フォトレジスト層をパターン化して、第一の層を形成し、
前記基板表面および前記第一の層を覆う金属層を形成し、
前記第一の層上に第二の層が形成されるように、前記金属層をパターン化して、前記第一の層と前記第二の層とが積層されてなる微小移動体を製造する方法。

【請求項9】
前記第一の層が加熱される、請求項8に記載の方法。

【請求項10】
0.02~5GPaの硬さと0.7~170GPaのヤング率とを有するフォトレジストからなる第1の弾性層、およびアルミニウムからなる第2の弾性層、から構成されるカンチレバーと、
前記カンチレバーに光を照射する光源と、
を備える微小移動体装置。
産業区分
  • その他原動機
  • その他機械要素
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 権利存続中
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