TOP > 国内特許検索 > シリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体の製造方法

シリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体の製造方法

国内特許コード P08A013819
掲載日 2008年10月7日
出願番号 特願2007-051042
公開番号 特開2007-238433
登録番号 特許第4840777号
出願日 平成19年3月1日(2007.3.1)
公開日 平成19年9月20日(2007.9.20)
登録日 平成23年10月14日(2011.10.14)
発明者
  • 野田 哲二
  • 胡 全利
  • 荒木 弘
  • 鈴木 裕
  • 楊 文
出願人
  • 独立行政法人物質・材料研究機構
発明の名称 シリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体の製造方法
発明の概要

【課題】半導体等の情報通信用デバイス材料等として有用で、多様な組成および形態が簡便に実現できる新しいシリコンゲルマニウムナノワイヤーとその製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体の製造方法は、一般式SiGe1-x(式中、0<x<1)で示す組成を有する合金を浮遊帯域溶融法により溶解させることからなり、その溶融温度を調整することで、前記球状部とナノワイヤー部との前記式中のxの相違具合を制御する構成である。
【選択図】図1

従来技術、競合技術の概要


近年、シリコン等のナノワイヤーは微小半導体として注目を集めており、たとえば量子細線等として、従来のリソグラフィー技術による加工限界を超えた、次世代の高密度集積回路素子材料としての利用が期待されている。



このようなナノワイヤーについて、その製造方法としては、気相蒸発法、レーザー法等の各種の方法が提案されており、この出願の発明者らもまた、浮遊帯域溶融法(FZ法)によりシリコンナノワイヤーを大量に製造することができる方法をすでに提案(特願2001-333257)している。



しかしながら、ナノワイヤーを細線材料としてのみならず、様々な機能を有する材料として利用するためには、組成や形態を制御して、簡便かつ大量にナノワイヤーを製造することが望まれる。

産業上の利用分野


この出願の発明は、シリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体の製造方法に関するものである。さらに詳しくは、この出願の発明は、半導体等の情報通信用デバイス材料やその他電子・電気材料等として有用で、多様な組成および形態が実現できる新しいシリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体の製造方法に関するものである。

特許請求の範囲 【請求項1】
シリコンゲルマニウム球状部からシリコンゲルマニウムナノワイヤー部が成長したシリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体の製造方法であって、一般式SixGe1-x( 式中、0<x<1)で示す組成を有する棒状の粉末焼結試料を浮遊帯域溶融法により試料上部より試料下部に向かって光照射加熱により順次溶融させ、前記棒状合金試料の下方より上方へアルゴンあるいは水素をキャリアガスとして流し、前記溶融部の上方の試料に、960~1000℃の温度領域を作り出すことによって、前記球状部とナノワイヤー部との前記式中のxの相違を発現させることを特徴とするシリコンゲルマニウムナノワイヤー集合体の製造方法。
産業区分
  • 無機化合物
  • その他機械要素
  • 固体素子
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

JP2007051042thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
特許についてのご質問及びご相談等については、公開特許番号、ご質問内容・ご相談内容等、お名前、会社名、ご連絡先(電話番号、FAX番号、メールアドレス)をご記入の上、下記までご連絡ください。


PAGE TOP

close
close
close
close
close
close
close