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硫化亜鉛・珪素コア・シェルナノワイヤーとその製造方法

国内特許コード P08A013822
掲載日 2008年10月7日
出願番号 特願2007-078064
公開番号 特開2007-223896
登録番号 特許第4556015号
出願日 平成19年3月26日(2007.3.26)
公開日 平成19年9月6日(2007.9.6)
登録日 平成22年7月30日(2010.7.30)
発明者
  • 板東 義雄
  • ジンツィ フウ
出願人
  • 独立行政法人物質・材料研究機構
発明の名称 硫化亜鉛・珪素コア・シェルナノワイヤーとその製造方法
発明の概要

【課題】単結晶珪素ナノチューブを実現するための前駆物質となる硫化亜鉛・珪素コア・シェルナノワイヤーとその製造方法を提供すること。
【解決手段】硫化亜鉛粉末を不活性雰囲気で1150~1250℃に加熱し、生成した硫化亜鉛ナノワイヤーを不活性雰囲気で一酸化珪素と1200~1400℃で加熱反応させることにより得られる硫化亜鉛・珪素のコア・シェル構造を有するナノワイヤーである。
【選択図】 なし

従来技術、競合技術の概要


従来、珪素ナノワイヤーは、金属触媒を用いたレーザー加熱法(非特許文献1参照)や、珪素と珪素酸化物の加熱による方法(非特許文献2参照)、ジフェニルシランの高温熱分解による方法(非特許文献3参照)などによって製造されることが知られている。

【非特許文献1】A.M.Morales,ほか、サイエンス(Science) 279 巻、208頁、1998年

【非特許文献2】N.Wang,ほか、フィジカル・レビューB(Phys.Rev.B)58巻、R16024 頁、1998年。

【非特許文献3】J.D.Holmes,ほか、サイエンス(Science) 287巻、1471頁、2000年

産業上の利用分野


本発明は、硫化亜鉛・珪素コア・シェルナノワイヤーとその製造方法に関するものである。さらに詳しくは、本発明は、ナノスケールの半導体デバイス等に有用な単結晶珪素ナノチューブを製造するための前駆物質である硫化亜鉛・珪素コア・シェルナノワイヤーとその製造方法に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
硫化亜鉛粉末を不活性雰囲気で1150~1250℃に加熱し、生成した硫化亜鉛ナノワイヤーを不活性雰囲気で一酸化珪素と1200~1400℃で加熱反応させることにより得られる硫化亜鉛・珪素のコア・シェル構造を有するナノワイヤーであることを特徴とする硫化亜鉛・珪素コア・シェルナノワイヤー。

【請求項2】
硫化亜鉛粉末を不活性雰囲気で1150~1250℃に加熱して硫化亜鉛ナノワイヤーを生成させ、この硫化亜鉛ナノワイヤーを不活性雰囲気で一酸化珪素と1200~1400℃で加熱反応させ、硫化亜鉛・珪素のコア・シェル構造を有するナノワイヤーを生成させることを特徴とする硫化亜鉛・珪素コア・シェルナノワイヤーの製造方法。

【請求項3】
不活性気体を通じながら、硫化亜鉛粉末を縦型高周波誘導加熱炉中で1150~1250℃に1~2時間加熱して硫化亜鉛ナノワイヤーを生成させた後、一酸化珪素粉末と不活性気流中で1200~1400℃に1~2時間加熱反応させ、硫化亜鉛・珪素のコア・シェル構造を有するナノワイヤーを生成させることを特徴とする請求項2に記載の硫化亜鉛・珪素コア・シェルナノワイヤーの製造方法。
産業区分
  • 無機化合物
  • その他機械要素
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 権利存続中
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