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薄膜発熱体

国内特許コード P08S000114
整理番号 DP1122-1
掲載日 2008年10月28日
出願番号 特願2007-507112
登録番号 特許第4863176号
出願日 平成18年3月7日(2006.3.7)
登録日 平成23年11月18日(2011.11.18)
国際出願番号 JP2006304319
国際公開番号 WO2006095709
国際出願日 平成18年3月7日(2006.3.7)
国際公開日 平成18年9月14日(2006.9.14)
優先権データ
  • 特願2005-063790 (2005.3.8) JP
発明者
  • 吉門 進三
  • 伊東 佑規
出願人
  • 学校法人同志社
発明の名称 薄膜発熱体
発明の概要

【課題】抵抗発熱体は、種々の材料ソースの加熱あるいは基板加熱などに用いられ、近年あらゆる雰囲気で化学的に安定な発熱体材料が必要とされている。従来、金属モリブデン、金属タンタル、金属タングステンなどの金属を用いた発熱体は抵抗が小さいため、適度な抵抗値を得るためには膜厚の小さい薄膜を作成する必要があり、高温における十分な機械的強度を有する薄膜化が困難であるという問題があった。また、従来の炭化ケイ素を用いた発熱体も薄膜化が困難であるという問題があった。また形状も、板状、ワイヤー状に限られる場合が多く、熱効率がよい形状が望まれている。
【解決手段】珪化タングステンを、RFマグネトロンスパッタリング装置などを用いて、るつぼ10に直接薄膜として堆積させることにより、高効率の加熱が可能な薄膜状の珪化タングステン薄膜発熱体12を提供する。
【選択図】図1A

従来技術、競合技術の概要


抵抗発熱体は、真空蒸着装置やCVD(Chemical Vapor Deposition)装置などにおいて、種々の材料ソースの加熱、あるいは基板加熱などに用いられている。そして、近年あらゆる雰囲気で化学的に安定な発熱体材料が必要とされている。従来、炭化ケイ素、モリブデン、タンタル、金属タングステンなどを用いた発熱体が知られている。また、現在市販のヒータ発熱体は棒状、線状、板状である(例えば、特許文献1参照)。

【特許文献1】特開平8-153568号公報(第3頁、図1)

産業上の利用分野


本発明は、基体上に珪化タングステンを薄膜状に形成した薄膜発熱体等に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】基体と、
前記基体上に形成した、正方晶の珪化タングステンの薄膜と、
白金からなる電極層と、を具備し
前記正方晶の珪化タングステンの薄膜は、前記基体の加熱なしでスパッタリングにより珪化タングステンを前記基体に堆積させた後、真空中で加熱処理することによって製造されたものである、薄膜発熱体。
【請求項2】基体と、
前記基体上に形成した、正方晶の珪化タングステンの薄膜と、
白金からなる電極層と、を具備し、
前記正方晶の珪化タングステンの薄膜は、前記基体を加熱してスパッタリングにより珪化タングステンを前記基体に堆積させたものである薄膜発熱体。
【請求項3】前記基体はるつぼ形状である、請求項1または請求項記載の薄膜発熱体。
産業区分
  • 導電材料(抵抗)
  • 電力応用
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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出願権利状態 権利存続中
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