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X線検査方法およびX線検査装置

国内特許コード P08A014300
整理番号 D94-06P02
掲載日 2009年3月27日
出願番号 特願平10-210832
公開番号 特開2000-046759
登録番号 特許第4031113号
出願日 平成10年7月27日(1998.7.27)
公開日 平成12年2月18日(2000.2.18)
登録日 平成19年10月26日(2007.10.26)
発明者
  • 松原 英一郎
  • 川島 勉
  • 西木 直巳
出願人
  • 国立研究開発法人科学技術振興機構
  • 松原 英一郎
  • 松下電器産業株式会社
発明の名称 X線検査方法およびX線検査装置
発明の概要 【課題】 X線検査において検出すべき元素の情報に関してより向上した結果を得ることができるX線検査方法およびX線検査装置を提供する。
【解決手段】 元素の吸収係数がその元素の吸収端前後で大きく異なることを利用し、測定試料(3)中の検出対象となる元素の吸収端の波長より短波長の単色X線λ1と長波長の単色X線λ2を測定試料に照射して得られる2種類のX線透過データを差分することにより、測定試料中の検出対象となる元素のみのX線透過像を得る。
従来技術、競合技術の概要


従来、電子部品等の非破壊検査および人体内部の臓器撮影にはX線が多く用いられている。X線による非破壊検査は、X線を発生して対象物体としての測定試料に照射するX線発生・照射器、測定試料を透過したX線を検出して透過したX線に関するデータを生成するX線検出器、およびX線検出器により生成された透過したX線に関するデータを処理して画像を形成するデータ処理器を備えたX線検査装置を用いて実施される。



この装置を用いて測定試料を検査するには、X線発生・照射器から白色X線を測定試料に照射し、透過したX線をX線検出器で検出し、検出されたデータを処理して測定試料に関するX線透過画像を表示する。
このようなX線検査の原理は、X線の透過の程度が測定試料を構成する物質の厚さ、物質の種類等によって異なることに基づくものであり、測定試料内部の欠陥部または内部に存在する異なる物質の形状、寸法、位置等を、透過したX線に関するデータに対応する画像(いわゆるX線透過画像)のコントラストの違いにより測定試料を破壊することなく知ることができる。

産業上の利用分野


本発明は、X線を用いて対象物体を検査する方法およびその方法に使用する装置、即ち、X線検査方法およびX線検査装置に関する。詳しくは、対象物体中における特定の元素の有無を検出するためのX線検査方法およびX線検査装置に関する。このような方法および装置は、例えば電子部品等の工業用X線非破壊検査、医療用X線検査等に用いることができる。

特許請求の範囲 【請求項1】
白金/カーボンの第1の多層膜モノクロメータと、白金/カーボンの、前記第1の多層膜モノクロメータと異なる第2の多層膜モノクロメータとを用い、
前記第1の多層膜モノクロメータにおいて第1の反射角で反射された波長λ1の第1のX線を測定対象物(人間を除く)に照射し、前記第2の多層膜モノクロメータにおいて前記第1の反射角で反射された波長λ2の第2のX線を前記測定対象物に照射した後、
前記第1のX線の透過データと前記第2のX線の透過データとの差分に基づいて測定対象物の所定の元素の情報を得ること
を含むX線検査方法。

【請求項2】
白金の層厚とカーボンの層厚が、白金層厚:カーボン層厚=1:2の関係にあることを特徴とする請求項1に記載のX線検査方法。

【請求項3】
X線発生器と、
前記X線発生器から照射されたX線を第1の反射角で反射させて波長λ1の第1のX線として測定対象物に照射する白金/カーボンの第1の多層膜モノクロメータと、
前記X線発生器から照射されたX線を前記第1の反射角で反射させて波長λ2の第2のX線として前記測定対象物に照射する、白金/カーボンの、前記第1の多層膜モノクロメータと異なる第2の多層膜モノクロメータと、
前記測定対象物を透過したX線を検出するX線検出器と、
前記X線検出器からのデータを処理するX線データ処理器と、を備え、
前記第1の多層膜モノクロメータと前記第2の多層膜モノクロメータは白金層1層とカーボン層1層の層厚の和が異なること
を特徴とするX線検査装置

【請求項4】
白金の層厚とカーボンの層厚が、白金層厚:カーボン層厚=1:2の関係にあること
を特徴とする請求項3に記載のX線検査装置
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP1998210832thum.jpg
出願権利状態 登録
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