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原料ガス噴出用ノズル及び化学的気相成膜装置

国内特許コード P09A014447
整理番号 1247
掲載日 2009年5月8日
出願番号 特願2006-083679
公開番号 特開2007-254869
登録番号 特許第4940425号
出願日 平成18年3月24日(2006.3.24)
公開日 平成19年10月4日(2007.10.4)
登録日 平成24年3月9日(2012.3.9)
発明者
  • 川原村 敏幸
  • 西中 浩之
  • 藤田 静雄
  • 谷垣 昌敬
出願人
  • 国立大学法人京都大学
発明の名称 原料ガス噴出用ノズル及び化学的気相成膜装置
発明の概要

【課題】CVD法によって基板に膜を形成するのに用いられた際、基板表面に生成される膜の表面粗度が低く、大型基板の成膜にも用いることができるエアロゾル浮遊ガスにも適用が可能な原料ガス噴出用ノズル、及び、これを備えた化学的気相成膜装置を得る。
【解決手段】原料ガス噴出用ノズル1は、下面用板部材2、背面用板部材3、第1の上面用板部材4、第2の上面用板部材5、第3の上面用板部材6、側面用部材7、8からなるガスだまり部9及び原料ガス噴出部10と、原料ガス供給管11、12とを備えている。また、原料ガス噴出用ノズル1は、原料ガスの噴出方向が基板載置台上に載置された基板の平面に平行な方向と垂直となるように、化学的気相成膜装置内の成膜室に設置されている。
【選択図】図1

従来技術、競合技術の概要


従来の流体の整流が可能なノズルとしては、次のような特許文献が開示されている。

【特許文献1】特開2000-334333号公報



具体的には、上記特許文献1に、矩形筒体の上流側中央付近に流体の導入部を備え、この導入部から流入した流体を整流する整流部を筒体内に配置し、この整流部で整流した流体を矩形筒体の導出部位置に設けた噴射ノズルから噴射する流体の整流機構において、前記流体の導入部と整流部の間の領域に、筒体の中央部方向に流れる流体を筒体の四隅部及び四辺部方向に分散させるための分散整流板を設けたことを特徴とする流体の整流機構が開示されている。この特許文献1の整流機構を備えた噴射ノズルによると、製品の乾燥、熱処理又は焼付け、水切り、エアカーテン、流体シャワー、除塵等の現場で、流体を噴射する際に、流体の流速及び温度分布を均一に揃えることができる。

産業上の利用分野


本発明は、CVD法(化学的気相成膜法)によって基板に膜を形成する際の原料ガスの整流に用いられる噴出用ノズル、及び、これを備えた化学的気相成膜装置であり、特に、エアロゾル浮遊ガスを原料ガスとするときに好適なものに関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
原料ガスであるエアロゾル浮遊ガスを内部に供給するための1つ以上の原料ガス供給口と、
前記原料ガス供給口から供給された原料ガスが衝突する内壁面とともに、90°未満の内角を有する乱流発生空間を形成する第1の平面、及び、前記第1の平面とテーパー形状を形成する第2の平面を有している突起部と、を備えているガスだまり部、並びに、
一端に形成された開口部と、前記ガスだまり部から前記開口部まで原料ガスを導出する導出部とを有する原料ガス噴出部、
を備えていることを特徴とする原料ガス噴出用ノズル。

【請求項2】
前記導出部内部の壁面に平面を有しており、
前記第2の平面と前記導出部の平面とが、同一平面上に形成されていることを特徴とする請求項に記載の原料ガス噴出用ノズル。

【請求項3】
前記導出部の内部空間が、前記ガスだまり部からつば状に突き出た形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の原料ガス噴出用ノズル。

【請求項4】
前記ガスだまり部が、前記原料ガス供給口側から前記導出部側へ向かって断面積が減少する平滑な誘導面を有していることを特徴とする請求項1~のいずれか1項に記載の原料ガス噴出用ノズル。

【請求項5】
前記原料ガス噴出部の前記開口部を含む先端部分が先細り形状となるように形成されていることを特徴とする請求項1~のいずれか1項に記載の原料ガス噴出用ノズル。

【請求項6】
前記ガスだまり部又は/及び原料ガス噴出部の内部における原料ガスを加温して、該原料ガスをミスト化させるとともに整流するための加温器を有していることを特徴とする請求項1~のいずれか1項に記載の原料ガス噴出用ノズル。

【請求項7】
請求項1~のいずれか1項に記載の原料ガス噴出用ノズルと、
前記ガスだまり部に接続され開口された1つ以上の原料ガス供給管と、
前記開口部に接続されている成膜室とを備え、
前記成膜室に配置した基板の表面に前記原料ガス噴出用ノズルから原料ガスを噴出させ、基板の表面に膜を生成する化学的気相成膜装置。
産業区分
  • 表面処理
  • 流体移送
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2006083679thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
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