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電子顕微鏡用試料ホルダ及び電子顕微鏡

国内特許コード P09A014548
整理番号 708
掲載日 2009年6月12日
出願番号 特願2008-046652
公開番号 特開2008-311214
登録番号 特許第5182864号
出願日 平成20年2月27日(2008.2.27)
公開日 平成20年12月25日(2008.12.25)
登録日 平成25年1月25日(2013.1.25)
優先権データ
  • 特願2007-127060 (2007.5.11) JP
発明者
  • 村中 祥悟
  • 太田 勲
出願人
  • 国立大学法人浜松医科大学
発明の名称 電子顕微鏡用試料ホルダ及び電子顕微鏡
発明の概要

【課題】 走査型電子顕微鏡を用いて試料の略全域を高分解能で観察することができる顕微鏡用試料ホルダ、及びそのような顕微鏡用試料ホルダを具備する電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 電子顕微鏡用試料ホルダ20においては、走査型電子顕微鏡の試料台に本体部21が取り付けられた状態で、グリッド28によって支持された試料Sを透過し且つ絞り部材31を通過した電子線が2次電子発生面32に照射され、それにより、2次電子発生面32から2次電子が発生させられる。このとき、試料Sによる散乱電子が絞り部材31によって遮断されるため、高分解能で試料Sを観察することができる。また、本体部21が試料台によって傾斜及び回転させられるため、試料Sの略全域を観察することができる。
【選択図】 図2

従来技術、競合技術の概要


従来一般的な電子顕微鏡として、走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)及び透過型電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microscope)が知られている。走査型電子顕微鏡は、バルク状の試料の表面の微細構造を拡大観察するための装置である(例えば、特許文献1参照)。また、透過型電子顕微鏡は、薄膜状の試料の透過像によって微細構造を拡大観察するための装置である(例えば、特許文献2参照)。

【特許文献1】特開2006-54094号公報

【特許文献2】特開2006-127805号公報

産業上の利用分野


本発明は、電子顕微鏡用試料ホルダ及び電子顕微鏡に関する。

特許請求の範囲 【請求項1】
走査型電子顕微鏡の試料台に着脱自在に取り付けられる電子顕微鏡用試料ホルダであって、
本体部と、
前記本体部において試料を支持する支持部と、
前記本体部において前記試料を透過した電子線を絞る絞り部と、
前記本体部において前記絞り部を通過した電子線が照射されることで2次電子を発生する2次電子発生部と、を備えることを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。

【請求項2】
少なくとも前記支持部の周囲には、前記試料による散乱電子を減衰させる電子減衰部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。

【請求項3】
少なくとも前記支持部の周囲には、前記試料を汚染するガスを吸収するガス吸収部が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。

【請求項4】
少なくとも前記本体部における前記支持部の周囲部分は、カーボンからなることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。

【請求項5】
前記電子減衰部は、カーボンからなることを特徴とする請求項2記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。

【請求項6】
前記ガス吸収部は、カーボンからなることを特徴とする請求項3記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。

【請求項7】
前記本体部が前記試料台によって傾斜及び回転させられるとき、前記試料及び前記絞り部を通り得る全ての電子線が前記2次電子発生部に照射されるように構成されていることを特徴とする請求項1~6のいずれか一項記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。

【請求項8】
請求項1~のいずれか一項記載の電子顕微鏡用試料ホルダを具備することを特徴とする電子顕微鏡。
産業区分
  • 電子管
国際特許分類(IPC)
Fターム
画像

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JP2008046652thum.jpg
出願権利状態 権利存続中
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