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マルティプルビームシアリング干渉を用いたビームコリメーション法およびそれを利用したレンズの焦点距離または点光源の変位測定方法

国内特許コード P000000667
整理番号 IKK-9-2
掲載日 2001年11月26日
出願番号 特願平09-359475
公開番号 特開平11-190679
登録番号 特許第3845717号
出願日 平成9年12月26日(1997.12.26)
公開日 平成11年7月13日(1999.7.13)
登録日 平成18年9月1日(2006.9.1)
発明者
  • 松田 浄史
  • コリン シェパード
  • 永寿 伴章
出願人
  • 独立行政法人産業技術総合研究所
発明の名称 マルティプルビームシアリング干渉を用いたビームコリメーション法およびそれを利用したレンズの焦点距離または点光源の変位測定方法
発明の概要 本発明は、レンズを用いて平行光を作りだす時に、マルティプルビームシアリング干渉法を用いたビームコリメーション法であって、光源から発射されたレーザー光を、コリメーターレンズで平行光とし、前記コリメーターレンズの後方に配置した片側がウェッジに他方が平行になったガラス板によって干渉光を形成し、スクリーン上に結像された干渉縞が横方向になるようにレンズを移動して平行光とするようにしたことを特徴とする。
また、レンズの焦点距離をもとめること、および点光源の位置の変化を測定することもできる。
従来技術、競合技術の概要
種々の光学系において平行光を用いることがよくある。容易した平行光がどの程度の平行光になっているかを調べるためにコリメーションテストがある。こうしたコリメーションテストの一例としてたとえばトールボッド干渉計を用いるものがあるが、この方法では、精度の高い平行光を得たり、あるいはレンズの精度の良い焦点距離を得ることが困難である。
さらに、このコリメーションテスト法では、次のような問題点がある。
a,感度を高くしようとすると干渉縞間隔が広がり、測定が困難となる。
b,コリメートされていない場合、発散球面波になっているのか、収束球面波になっているのか判断できない。
産業上の利用分野
本発明は、レンズを用いて平行光を作りだす時に、マルティプルビームシアリング干渉法を用いてレンズからの光の波面を測定し、レンズを移動させて平行光になるように調整させたり、またレンズの焦点距離をもとめる方法に関するものである。
特許請求の範囲 【請求項1】光源から発射されたレーザー光を、コリメーターレンズで平行光とし、前記コリメーターレンズの後方に配置した片面が光軸に対し直角に他面が光軸に対して傾斜面として形成されたガラス板によって干渉光を形成し、スクリーン上に結像された干渉縞が前記傾斜面の傾斜軸に対して直角となるようにレンズを光軸に沿って移動して平行光とするようにしたことを特徴とするマルティプルビームシアリング干渉を用いたビームコリメーション法。
【請求項2】光源から発射されたレーザー光を、コリメーターレンズで平行光とし、前記コリメーターレンズの後方に配置した片面が光軸に対し直角に他面が光軸に対して傾斜面として形成されたガラス板によって干渉光を形成し、スクリーン上に結像された干渉縞が前記傾斜面の傾斜軸に対して直角となるようにレンズンズを光軸に沿って移動し、次にレンズを動かし点光源を焦点距離からΔZだけずらした時の、マルティプルビームの干渉縞の傾きwを測定しその傾きwから、
【数式1】
によりレンズの焦点距離をより求めることを特徴とするマルティプルビームシアリング干渉を用いたレンズの焦点距離測定法。
【請求項3】光源から発射されたレーザー光を、コリメーターレンズで平行光とし、前記コリメーターレンズの後方に配置した片面が光軸に対し直角に他面が光軸に対して傾斜面として形成されたガラス板によって干渉光を形成し、スクリーン上に結像された干渉縞が前記傾斜面の傾斜軸に対して直角となるようにレンズを光軸に沿って移動し調整し、この状態で点光源がΔηだけ変位した場合、干渉縞がΔξだけ変位するので、この動きを測定し、次式により、点光源の位置の変化を測定する点光源の変位測定方法。
【数式2】
産業区分
  • 試験、検査
国際特許分類(IPC)
Fターム
出願権利状態 権利存続中
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